中国科学院成功研发全固态DUV光源技术。 近日，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 纳米的相干光 ...

据国际光电工程学会（SPIE）报道，中国科学院（CAS）研究人员成功研发突破性的固态深紫外（DUV）激光，能发射 193 纳米的相干光（Coherent Light ...

Researchers at the Chinese Academy of Sciences (CAS) have developed a solid-state deep ultraviolet (DUV) laser that emits 193nm light in lab conditions—a wavelength critical for semiconductor ...