在半导体设备行业翘楚中微公司（688012）的最新动态中，其2024年的研发预算预计将达到24.52亿元，较去年增长高达94.31%。这一数据令行业内外都为之瞩目，体现了中微公司在市场中的强大竞争优势以及对未来技术创新的坚定决心。

其中，2024 年刻蚀设备销售约 72.76亿元，同比增长约 54.71%；MOCVD 设备销售约 3.79 亿元，同比下降约 18.11%；LPCVD 薄膜设备 2024 年实现首台销售 ...

♦ LPCVD设备是半导体集成电路制造的重要设备之一， 主要用于多晶硅、氮化硅、氧化硅薄膜的生长,它是将原材料气体(或者液态源气化)用热能激活发生化学反应而在基片表面生成固体薄膜。LPCVD过程是在低压下进行的，由于气压低，气体分子平均自由程大 ...