对于非常低的电容测量，使用大约1MHz的测试频率是理想的。由于测试频率远高于1MHz，传输线效应增加了成功测量的难度。在较低的测试频率下，由于测试频率和电流成比例，测量值的分辨率会降低，因此，会产生更大的噪声。

Microelectromechanical systems (MEMS) technology has allowed the realization of cost-effective, high-performance deformable mirrors for adaptive-optics-enhanced imaging. The idea of using an array ...