如扫描电子显微镜(SEM)获得的横截面图像所示,云母衬底和PZT薄膜的厚度分别为20 µm和2.0 µm,这确保了传感器的柔韧性。该压电传感器无需极化处理即可使用。 可穿戴PZT压电传感器的制备与表征 为了确保准确的脉压波形测量,除了高灵敏度的PZT压电传感器外 ...