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能生产3nm！中科院成功研发全固态DUV光源技术：完全不同于ASML
快科技3月25日消息，据悉，中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光，可发射193nm的相干光，与目前主流的DUV曝光波长一致，能将半导体 ...