IT之家 3 月 19 日消息,据法媒 ECInews 报道,欧洲先进 FD-SOI 中试线(技术试点线)项目 FAMES 当地时间 18 日正式宣布对外公开征集计划采用 10nm、7nm FD-SOI 全耗尽型绝缘体上硅工艺的芯片设计。FAMES ...
FAMES 项目的协调员 Dominique Noguet 表示 基于 10nm FD-SOI 工艺的测试芯片预计将于 2027 年推出 。该制程节点将采用 193nm ArFi DUV 光刻机,采用 SADP 自对准双重曝光实现。
3月19日,IT之家报道,欧洲先进FD-SOI中试线(技术试点线)项目FAMES日前在当地时间18日正式启动了芯片设计征集计划,目标是实现10nm及7nm全耗尽型绝缘体上硅工艺的芯片设计。