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如何用SIMS分析应变材料SiGe和SiP提升半导体性能
应变工程（Strained Engineering，Strained-Si）是提升Si纳米组件性能最有成效的方法，应变工程中常用SiGe材料来增加PMOS信道的压应力，增加电洞的移功率 ...