
硼磷硅玻璃 - 百度百科
硼磷硅玻璃 (Boro-phospho-silicate Glass,BPSG),即掺杂了 硼 和 磷 的 二氧化硅 作为第一层金属前介电质 (PMD)以及金属层间介电质 (AVID)在IC制造中有着广泛的应用。 二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂质 (B2O3、P2O5 )的加入而变得疏松,在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力 ( Reflow )。 因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力,并且能够提高整个 硅片 表面的平坦化,从而为光刻及后道工艺提供更大的工艺范围。 在0.18微米及更低节点技术中,随着半 …
Bavarian State Collection for Palaeontology and Geology - SNSB
The Bavarian State Collection for Palaeontology and Geology (SNSB-BSPG) focuses on documentation and research on the development and diversity of life in Earth history, the interrelationships between organisms, the Earth system and geology. In Bavaria, it is the state institution responsible for fossil finds and rocks. LMU- bzw.
104|CVD中的PSG,BPSG,FSG分别是什么? - 知乎专栏
BPSG:BoroPhosphoSilicate Glass,硼磷硅酸盐玻璃,是由硅、硼、磷组成的三元玻璃。 BPSG相比PSG具有更好的流动性和更低的流动温度,因此在需要更大面积覆盖和填充效果的场合,如隔离的制作中,通常优选BPSG。 FSG:Fluorosilicate Glass,氟硅酸盐玻璃,是一种掺氟的硅酸盐玻璃。 FSG的主要优点是它的 介电常数 较低(约3.6),比未掺杂氟的硅酸盐玻璃的介电常数(约4.0)低,因此FSG常常用作互连层的介电材料,用来降低互连电容,从而降低 RC延 …
BSPG - an opensource Balanced Scorecard
what is a Balanced Scorecard?
半导体芯片制造中 BPSG 是什么? - 智于博客
2019年6月13日 · 硼磷硅玻璃(boro-phospho-silicate-glass,BPSG):这是一种掺硼的SiO2玻璃。 可采用CVD方法(SiH4+O2+PH3+B2H6,400oC~450oC)来制备。 BPSG与PSG(磷硅玻璃)一样,在高温下的流动性较好,广泛用作为半导体芯片表面平坦性好的层间绝缘膜。 PSG要求的回流温度很高大约1100℃,高温处理容易引起杂质浓度再扩散和硅片变形,以往PSG增加P的含量可以降低回流温度,但是P的含量增加会影响膜的稳定性和可靠性。 因此出现了掺B的BPSG …
Bayerische Staatssammlung für Paläontologie und Geologie
Die Bayerische Staatssammlung für Paläontologie und Geologie (SNSB-BSPG) ist ein Zentrum zur Dokumentation und Erforschung der Entwicklungsgeschichte und Vielfalt des Lebens auf der Erde, der Wechselbeziehungen zwischen den Organismen untereinander und mit dem System Erde sowie der geologischen Grundlagen.
Freunde der Bayerischen Staatssammlung für Paläontologie und …
Seit 1971 unterstützen wir die Bayerische Staatssammlung für Paläontologie und Geologie, wecken das Interesse an der Erdgeschichte und fördern den wissenschaftlichen Nachwuchs. Die Paläontologie ist der Fachbereich in den Geowissenschaften, der sich mit der Erforschung des Lebens in der Vergangenheit auseinander setzt.
BSPG, an opensource Balanced Scorecard - SourceForge
2013年4月10日 · Download BSPG, an opensource Balanced Scorecard for free. BSPG is a complete Balanced Scorecard environment comparable to many similar commercial softwares for measurement-based management, running on PostgreSQL. Manages a company strategy, through objectives, measures and targets...many reports and graphics, d.
IKO精密滚珠滑组BSP、BSPG、BSR的相关产品介绍及安装注意事项
2018年9月17日 · BSP及BSPG的安装可使用工作台及底座上的内螺纹,或者将尺寸小一号的螺钉插入内螺纹中安装。 但BSP715SL~BSP740SL无法从工作台及底座的内侧安装,敬请注意。 安装BSR的滑轨时,可使用滑轨上的内螺纹,或者将尺寸小一号的螺钉插入内螺纹中安装。 但BSR1530SL和BSR2040SL无法从滑轨的内侧安装,敬请注意。 产品参数下载: IKO精密滚珠滑组BSP、BSPG、BSR尺寸表.pdf. 专业代理销售HEPHAIST直线轴承,IKO滚针轴承,IKO直线导 …
BSBG | Architecture, Interior Design and Engineering
Brewer Smith Brewer Group (BSBG) is an award-winning international practice with locations in Dubai, London and Riyadh. Our multi-disciplinary expertise comprises architectural and interior design, structural engineering, lead consultancy, technical supervision and contract administration. Learn more about our services here.