2022年2月18日 · MEMS传感器主要优点是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等，是微型传感器的主力军，正在逐渐取代传统机械传感器，在各个领域几乎都有研究，不论是消费电子产品、汽车工业、甚至航空航天、机械、化工及医药等各领域。 常见产品有压力传感器，加速度计，陀螺，静电致动光投影显示器，DNA扩增微系统，催化传感器。 MEMS的快速发展是基于MEMS之前已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。 MEMS往往会采 …

微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。 主要由传感器、作动器（执行器）和微能源三大部分组成。

mems被认为是21世纪最有前途的技术之一，如果半导体微制造被视为第一次微制造革命，mems则是第二次革命。通过结合硅基微电子技术和微机械加工技术，mems具有革命性的工业和消费产品的潜力。

MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的缩写，具有微小的立体结构（三维结构），是处理各种输入、输出信号的系统的统称。 是利用微细加工技术，将机械零零件、电子电路、传感器、执行机构集成在…

2023年10月19日 · 成果团队在高精度 mems 传感器的研制基础上通过进一步攻克高可靠结构、高可靠电路和高可靠工艺等难题，研制了 三分量星载 mems 微震仪 ，于 2020 年 5 月 搭载长征五号 b 遥一火箭成功发射并回收（微震仪返回后经复测正常） ，完成了我国新一代载人航天飞船 ...

Micro-electromechanical systems (MEMS) is a process technology used to create tiny integrated devices or systems that combine mechanical and electrical components. They are fabricated using integrated circuit (IC) batch processing techniques and can range in size from a few micrometers to millimetres.

2019年8月13日 · 传统机电继电器(Electromechanical Relay, EMR) 从发明至今已有上百年历史，一直被广泛使用，直至微机电系统(MEMS)开关技术在近几十年之快速发展，凭借其易于使用、尺寸小、可以极小的损耗可靠地传送0Hz/dc至数百GHz信号等特性，MEMS开关在射频测试仪器、 …

3D MEMS (3D Micro-Electro-Mechanical-System—3维微机电系统) 通过创造性地结合相关技术，将硅材料加工成3维结构并进行密封，使之便于安装和组装并具有精度高、单位体积小、功耗低的特点。

2022年4月5日 · 本文详细介绍了MEMS惯性导航单元的标定流程，重点针对陀螺仪和加速度计的标度因数、安装误差、非线性度、零偏稳定性、阈值和分辨率等参数进行了校准与测试。 通过最小二乘法和实际实验数据，展示了如何通过离心机替代实验和重力激励来评估设备性能。 ，由此计算得到航向角、横滚角、俯仰角等信息，角度误差会导致速度误差的加剧，因此在MEMS惯性导航单元中一般主要关注陀螺仪的性能，其中陀螺仪的性能又更关注于零偏稳定性的性能，因为零偏稳 …

This paper describes a novel methodology for electro-mechanical co-optimization of microelectromechanical systems (MEMS) devices. It facilitates a MEMS design flow at system-level, in which mechanical and electrical domains interact with each other to achieve an optimal system performance.