KLA has a comprehensive portfolio of defect inspection and review systems for advanced chip manufacturing, including additional Surfscan ® unpatterned wafer inspection systems and …

KLA/TENCOR 2367是一个先进的自动化掩模和晶片检测系统，可以快速准确地检测半导体晶片中的视觉和计量缺陷，使用高分辨率相机、AOP、缺陷识别、计量和特征分析工具等强大功能。

2022年12月6日 · KLA’s comprehensive portfolio of inspection, metrology & data analytic systems helps manufacturers manage yield through the entire IC fabrication process.

革命性的 3900 系列宽波段等离子光学检测仪采用新型超分辨率深紫外线 (SR-DUV) 波长范围和光刻机级别的机台精准性产生卓越的光学分辨率,经证实能够侦测 10 纳米以下缺陷。 2930 系列 …

defect inspection for design nodes ≥65nm. Based on the widely adopted 23XX platform, the 2367 captures yield-impacting defects on critical front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line …

灵活多变的2367 检测仪还可辅助补充KLA 28XX 全光谱深紫外/ 紫外/ 可见光明场检测仪,形成混合匹配的检测策略。 2367 配备了功能强大的图像计算机和突破性的延时整合(TDI) 传感器,因而 …

2024年9月3日 · CryoTemp晶圆旨在校准、改善均匀性和匹配静电吸附盘 (ESC)上的温度曲线，可实现对等离子体蚀刻腔体的快速工艺表征和控制. 监测并记录晶圆在设备传送路径上的振动和 …

Technology Promotes Green Future ELECTRIC WALKIE COUNTERBALANCED FORKLIFTS KIA-A Technology Promotes Green Future Maximum load load Maximum lifting height Travel …

2024年9月25日 · 半导体检测领域的领头羊KLA科磊（简称KLA）的产品线广泛且深入，覆盖了半导体制造和相关电子行业的多个关键环节。 KLA的产品线主要包括用于检验、测量、数据分析 …

2012年4月23日 · The CIRCL suite incorporates a new generation of the industry-proven LDS front side macro defect inspection module; a new, modular edge inspection, profile and metrology …