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2023年12月11日 · 分辨率小于38纳米，镜头孔径1.35，曝光面积为26x33毫米。 对比当前型号，它的整体生产效率可提高10-15％，创下尼康光刻设备的新高，每小时可生产280片晶圆，停机时间也更短。

2023年12月10日 · 此外，该光刻机的镜头孔径达到1.35，曝光面积则为26x33毫米，生产效率预计提高10-15％，每小时可生产280片晶圆。 这一进步将极大地提高了芯片制造的效率和产能，降低了生产成本，有望进一步推动全球半导体产业的发展。

2023年12月11日 · 分辨率小于38纳米，镜头孔径1.35，曝光面积为26x33毫米。 对比当前型号，它的整体生产效率可提高10-15%，创下尼康光刻设备的新高，每小时可生产280片晶圆，停机时间也更短。

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