Epitaxy - ASM
ASM has developed new methods of temperature control in our epitaxy tools that enable improved film performance and repeatability in volume production. Epitaxy processes include …
Epsilon® 2000 Epitaxy - ASM
Our Epsilon 2000 single-wafer epitaxy tool offers a wide variety of epitaxy applications for 150mm and 200mm wafers. They range from high-temperature silicon for wafer preparation to low …
半导体EFEM 的一些小科普 - CSDN博客
2024年11月21日 · EFEM（Equipment Front-End Module，设备前端模块）是半导体制造中用于自动化传输晶圆的关键设备。 本文介绍了 EFEM 的完整开发流程，包括从需求分析到验证部署 …
EFEM（6寸、8寸、12寸） - 知乎 - 知乎专栏
2023年3月27日 · 设备前端模块 (Equipment Front End Module)指在高洁净环境下，将单片晶圆通过精密机械手传输至工艺、检测模块的晶圆前端传输系统。 EFEM从属于半导体生产设备，其 …
EFEM 开发流程及注意事项 - CSDN博客
2024年10月31日 · EFEM（Equipment Front-End Module，设备前端模块）是半导体制造中用于自动化传输晶圆的关键设备。 本文介绍了EFEM的完整开发流程，包括从需求分析到验证部署的 …
半导体晶圆传输设备（Sorter/EFEM）行业全面解析与展望
EFEM，即半导体设备前端模块，扮演着连接物料搬运系统与硅片处理系统的关键角色。 它确保晶圆在高度洁净的环境下，能够顺畅地传输至工艺和检测模块，因而成为半导体设备不可或缺的 …
半导体制造里的EFEM是什么？（量伙快速退火炉）
2024年2月23日 · 设备前端模块(efem)是半导体设备的关键部分，主要应用于晶圆的自动上下料。 它包括晶圆装载系统、晶圆运输机器人和晶圆对准器三大部件。 EFEM通过微环境保证洁净要 …
关于晶圆前端模块设备EFEM不得不说的几家日本制造商及国产化 …
2022年5月28日 · 东南亚是全球最大的半导体设备前置模块（efem）和晶片分选机生产地，市场份额超过29%，其次是日本、韩国和中国等地区。 日本制造商在进军中国制造方面，比如日 …
FOPLP EFEM（方形Panel EFEM） - 知乎专栏
2023年6月5日 · FOPLP EFEM是指针对方形panel进行搬运和处理、信息识别及存储的设备前端模块。FOPLP(Fan out panel level package) EFEM不同于一般的WLP(Wafter level package） …
半导体核心零部件设备之一EFEM全称是什么？ - 知乎
efem（设备前端模块） 模块设备配备有大气晶圆搬运机器人，安装在框架中，框架配备有 FFU（风扇过滤器单元）和安装在前面的装载端口。 EFEM主要安装在工艺设备的前面。