The Prismo A7 is engineered for high throughput LED production with its 716mm diameter susceptor. It is currently the throughput advanced MOCVD system in the industry with the …

Welcome to Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China (AMEC, stock code: 688012)—a global micro-fabrication equipment company serving customers in the semiconductor industry …

2016年，中微发布了其第二代mocvd设备 prismo a7®。在 prismo d-blue的基础上，prismo a7增加了一些新的特征，以进一步提升生产效率和加工性能。该设备已应用于国内众多领先的led生 …

该设备运用了中微具有自主知识产权的创新技术,包括甚高频和低频混合射频去耦合反应等离子体源、等离子体隔离环、以及用于控制腔体内反应环境的先进工艺组件。 Prim o D-RIE刻蚀设备可 …

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称“ 中微公司 ”，证券代码“688012”）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高 …

2017年10月23日 · 中微半导体设备（上海）有限公司日前宣布，中微金属有机化合物气相沉积（MOCVD）设备Prismo A7 (TM)反应腔交付量突破100台，这是自去年中微MOCVD设 …

中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“中微”）日前宣布，中微金属有机化合物气相沉积（MOCVD）设备Prismo A7™ 反应腔交付量突破100台，这是自去年中微MOCVD设备Prismo …

Prismo A7?是目前世界上单炉LED产能最高、单位能耗最低的MOCVD 机台，其他各项技术指标也均已达到了目前世界先进水平。 目前，中微的Prismo A7? MOCVD设备在蓝绿光半导体照明 …

中微具有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO A7®可配置多达4个反应腔，可以同时加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工艺能力还能延展到生长8英寸外延晶片。 每个反应腔都可以独 …

Prismo A7™ 是中微第二代MOCVD设备，主要用来进行氮化镓LED外延加工以及其他应用。 每台Prismo A7™ 设备可容纳多达4个反应腔， 每个反应腔的产量是中微第一代MOCVD设备Prismo …