先进的半导体过程控制技术 (Advanced Process Control，APC)研究的目的就是应用 Run-to-Run控制 方法，利用数据的正向补给和反馈来有效的监控制程过程与设备状态以及调整制程的偏移，消除对制程的各种干扰，以提高产品良率。 集成电路生产线投资成本高，为了尽快收回投资成本，需要不断提高设备的生产效率。 采取各种措施来提高设备的利用率，让工艺生产线具有可延伸性、灵活性和可伸缩性，尽量延长使用周期，提高工艺设备的稳定性，减少设备的停机维护时间。 …

FDC（Fault Detection and Classification，故障检测与分类）是半导体制造中的一种关键工艺监控技术，用于实时检测生产过程中的异常并分类故障类型。 FDC系统通过收集和分析设备传感器数据，能够及时发现工艺偏差、…

先进过程控制（Advanced Process Control，APC）是对那些不同于常规单回路控制，并具有比常规 PID 控制更好的控制效果的控制策略的统称，而非专指某种计算机控制算法。 先进过程控制的任务是用来处理那些采用常规控制效果不好，甚至无法控制的复杂工业过程控制的问题。 2. 先进过程控制的发展简史. 先进过程控制（APC）已成为当今半导体制造不可或缺的基石。 APC扎根于化学加工，不仅在半导体制造中证明了自己的实力，而且在提高光伏等相邻行业的产量方面具有 …

基本上APC算是某類系統的總稱，是由SEMI所定義與推廣的技術，通常包括下列項目：R2R（批次控制；Run-to-run control）、FDC（故障偵測與分類；Fault Detection and Classification）、OEE（Overall Equipment Efficiency）、e-Diagnostic等等項目[1]（圖一）。

本文將從SPC到故障檢測與分類FDC (Fault Detection & Classification)的演進出發，結合實際經驗，探討如何有效解決低良率問題。 一、統計製程管制（SPC）的局限性. SPC是一種通過統計方法監控和控制製程的工具，其核心在於設定管制界限（通常為±3 Sigma）來檢測和預防製程偏差。 然而，SPC存在以下幾個局限性： 1.抽檢的局限性：由於SPC依賴抽樣檢測，無法全面反映整個生產過程中的所有變異。 這意味著在抽樣之外的產品可能存在品質問題。 2.參數監控的局限 …

APC 先进过程控制 （Advanced Process Control） 一般会认定其包含 R2R 批次控制 （Run-to-Run）、FDC、 OEE 整体设备效率 （Overall Equipment Efficiency），但包含关系和范围没有明显界定; FDC 故障侦测与分类 （Fault Detection and Classification） PMS 预防保养系统 （Preventive Maintenance ...

Abstract: Advanced process control (APC), which includes run-to-run (R2R) process control and fault detection and classification (FDC) is pervasive in fabs today. While APC provides many benefits, it also presents many implementation and operational challenges including significant up-front configuration cost, lack of solution accuracy ...

Fault detection and classification (FDC) is a part of advanced process control (APC) and means in compound semiconductor industry detection of abnormal behavior of systems during epitaxial growth. LayTec's in-situ tools and its software can monitor several deposition systems and help to detect when failures or process deviations occur in real time.

智现未来（前身为韩国bistel中国子公司），是中国本土唯一在12吋量产线上具备工程智能系统实践经验的供应商，国内fdc/r2r（apc）领域领导者，服务超过160个半导体标杆客户，依托于全球领先的cim工业软件方案，助力泛半导体、新能源、汽车电子、精细化工等 ...

面對為生產更高品質產品的激烈競爭，晶片製造商已普遍投資建設先進製程管控 (apc) 的系統架構，以求能提供最佳的生產決策。 APC的施行動機主要是透過收集巨量資料、降低製程變異與提高設備運作效率，以改善IC元件的良率。