Home of ALD | Beneq
Beneq is the global leader in industrial and research atomic layer deposition (ALD) equipment since 1984. Automated ALD solutions for high-capacity wafer production. Largest scale, …
Transform® and Transform® Lite - Beneq
Versatile, automated ALD solution for high-throughput semiconductor production. One platform, multiple configurations. Beneq Transform ® establishes a completely new class of ALD cluster …
Beneq Genesis ALD – Overview
Beneq’s Genesis is the world’s only commercially available roll-to-roll ALD system. Beneq’s tool provides functional ALD coatings for batteries, solar, and flexible electronics.
BENEQ Transform 产品介绍视频
多功能性ALD生产平台 在单片或批量晶圆生产中，倍耐克Transform TM 能够有效的结合热法和等离子体ALD制成。 客户在同一平台上可以实现多设备及多应用的生产流程。 专为Fab设计 倍 …
Beneq热型/等离子增强型原子层沉积设备 - 先进电子材料与器件校 …
等离子体增强原子层沉积（PE-ALD）是对ALD技术的扩展，通过等离子体的引入，产生大量活性自由基，增强了前驱体物质的反应活性，从而拓展了ALD对前驱源的选择范围和应用要求，缩 …
Beneq和LZH合作开发空间ALD系统，可快速在复杂光学元件上镀 …
2022年12月18日 · Beneq的ALD系统（称为C2R）可实现高达200 rpm的速度，沉积速率高达1 µm/h。 LZH指出，ALD是一种自限性和各向同性工艺，每个周期产生大约1埃的层厚度。
思锐智能携旗下Beneq品牌亮相CIOE2021，探索从微观到宏观层面的ALD …
2022年2月14日 · 近日，业界领先的ALD设备制造商和服务商——思锐智能携旗下Beneq品牌重磅亮相第23届中国国际光电博览会（以下简称CIOE2021），并分享ALD设备的主流产品以及在 …
思锐智能牵手国家智能传感器创新中心，ALD技术助力超越摩尔
2021年5月28日 · Transform系列工业量产型ALD设备 在产品技术详解环节，两位BENEQ芬兰专家通过云端联线方式作了主题为“BENEQ ALD和Semi ALD产品”和“ALD技术在功率氮化镓和碳化 …
Semiconductors - Beneq
ALD is the best choice for improving semiconductor-based electronics with the precision needed to engineer nanoscale architecture and enable cutting edge devices. The Beneq Transform® …
LZH and Beneq: Successful cooperation for ultrafast ALD coatings
2022年12月13日 · Beneq and LZH have teamed up to develop a spatial ALD system that can be used to coat complex-shaped optics at an unprecedented speed. The ALD system C2R of the …
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