CMUT 属于 静电转换型超声传感器，它采用 微机械技术 和 电容式传感原理，能够实现高精度、高灵敏度的超声波检测和测量。 CMUT的基本结构是由一个振动薄膜和一个固定电极组成的平行板电容器，当超声波作用于振动薄膜时，会改变电容器的电容值，从而产生电信号。 如下图所示，激发超声时，在传感器电极之间施加直流电压偏置及交流电压，电场使振膜振动产生超声；接收超声时，振膜振动引起电容量变化，产生交流信号。 与 PMUT 相比，同尺寸 CMUT加工难度小，带 …

2024年7月10日 · 另一方面，电容式微机械超声传感器（CMUT）和压电式微机械超声换能器（PMUT）是这一领域的两种主要技术，能够克服块体型超声换能器在工作频率和与生物组织声阻抗匹配方面的许多性能限制。 近年来，PMUT和CMUT在生物医学超声领域的性能和应用范围方面取得了长足的发展。

CMUT transducers are MEMS based structures that can be used to transmit and receive acoustic signals in the ultrasonic range. They enable breakthrough applications for ultrasound technology in a diverse range of industries such as medical, microscopy, inkjet printin and …

Capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT) are a relatively new concept in the field of ultrasonic transducers. Most of the commercial ultrasonic transducers today are based on piezoelectricity .

2023年7月7日 · CMUT 换能器是由多层结构和多层材料构成。CMUT 电容单元结构如图 2 所示，从上到下依次为金属铝上电极 氧化硅电气隔离层、绝缘体上硅 (silicon on insulator，SOI)晶 圆顶层硅制成的振动膜、在氧化硅上蚀刻的真空腔、氧化硅隔离层、硅衬底和金属铝底电极。在外界 ...

2024年1月30日 · Abstract: Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (PMUT) and Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers (CMUT) have seen great developments in recent years, both in terms of performance and scope of applications within the biomedical ultrasound domain.

CMUT属于静电转换型超声传感器，是由一个振动薄膜和一个固定电极组成的 平行板电容器。 其中一块板——振膜（前面提到的微机械薄膜）由硅或氮化硅制成，带有金属电极。 另一块板——通常是微机械加工硅晶片基底，更厚、更坚硬。 在发射模式下，振膜和基底背板之间会产生交变电压。 由此产生的静电力导致薄膜振动，发出超声波。 在接收模式下，超声波会引起膜振动，从而可以检测到电容变化。 当振膜与人体接触时，振动会将超声波送入组织。 产生或检测到多少超声波 …

微机械超声换能器（MUT）是指采用MEMS技术制作的超声换能器，根据工作原理主要分为两大类：电容式微机械超声换能器（CMUT）和压电式微机械超声换能器（PMUT），PMUT和CMUT在性能和应用方面各有所长、并行发展。 与传统的块体型超声换能器相比，微机械超声换能器具有体积小、成本低、功耗低、频率控制灵活、易于与电路集成和实现智能化等特点。 随着MEMS设计和微加工技术的提升以及产业链的完善，微机械超声换能器成为替代传统超声换能器的很有前途的 …

2025年2月6日 · 英飞凌的cmut可使一些需要液位感应的家用电器设备受益。 CMUT具有多项优势，包括可连续测量填充液位、功耗低，以及可轻松、无损地安装在水箱底部下方。

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