
Why are we going from DUV straight to EUV lithography?
Maybe you want to ask a more specific question? What's the point of 50nm EUV if DUV can already achieve this as illustrated in my answer. There is an energy density charge transfer …
14nm光刻机是怎么做出7nm和5nm芯片的? - 知乎
DUV是目前比较成熟的方案,现阶段最高采用193nm波长的深紫外光源,被广泛应用在7nm(N7)以及7nm以前的工艺里。 伴随着工艺的继续微缩,DUV已经力不从心,所以现在无 …
2台国产DUV光刻机的问世意味着什么? - 知乎
从上面的技术演进图其实也可以看到,ArF最高能够支持到65nm工艺,而这台国产光刻机,分辨率就是65nm,很明显就是贴近极限值的。 另外,浸润式DUV,和干式DUV,其中最大的区别, …
国产DUV光刻机官宣了,那么国产EUV 光刻机进展如何了?
(新加坡《联合早报》2023年12月20的报道) (3)张江集团发布的28纳米光刻机信息,有一些被删除了,但仍有一些还能看到。 顺便说一下,2024年工信部发布的国产DUV光刻机的报道, …
上海微电子能在2025年前攻克7nm光刻机吗? - 知乎
一张嘴就是槽点。 根本不存在所谓的7nm光刻机,直接把光刻机说成是7nm、14nm、28nm都是有问题的。 光刻机应该是按照光源波长来划分: 用436nm光源的是g-line光刻机, 用365nm光源 …
电商DUV什么意思? - 知乎
电商DUV一般是指店铺流量的大小,不限制于成交量。 只看流量大小,一般再购买广告后或者大促期间会是一个比较有标志性的数据指标。
工信部公开推广两款国产 DUV 光刻机,国产 DUV 光刻机在研发过 …
9月9日,工信微报微信公众号发文披露《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。其中,在…
光刻怎么做到低于衍射极限的线宽的? - 知乎
May 8, 2019 · 光刻机经过了很多代的发展,不过到目前,先进工艺里用的光刻机只有两种光源,一般我们也叫做EUV和DUV(EUV和DUV内部都还有版本,不过现在的DUV基本都是浸润 …
「EUV (极紫外光刻)」是一项什么样的技术? - 知乎
相关内容:如何评价三星 8 月 8 日发布的 Galaxy Note 10 系列手机?有哪些亮点和不足?芯片制作者为什么…
什么是E-Beam与DUV光刻技术? - 知乎
简单学习了以下,自己来回答一下吧。E-beam这工艺,用处比较广泛,可能每个人回答问题的角度都不一样,下面有位仁兄(@liqiuguo)说到我关注的点子了,非常感谢。 我主要是想了解 …