EUV, DUV, XUV 有什么区别？对应的波长分别是多少？ - 知乎
EUV, DUV, XUV 以及 UV, VUV 都是电磁波波段分类的简称。 XUV：0.1～10nm. （3）注意：波长不是分辨率！ 他们之间的关系是 分辨率=k*波长/NA. NA是数值孔径；k 是常数，由成像系 …
深紫外光（Deep Ultraviolet, DUV）和极紫外光 ... - CSDN博客
2025年1月26日 · 深紫外曝光技术（Deep Ultraviolet Lithography, DUV）是通过使用波长在2000~3000埃的光源来提高光刻图形的分辨率。 相比于传统的 4 000埃左右的 紫外光 ， 深 …
EUV, DUV, XUV 有什么区别？对应的波长分别是多少？_百度知道
2024年4月18日 · 而duv (深紫外光) 和 xuv (x射线紫外光) 的波长则更为稀有： DUV (248纳米至193纳米) ，如ArF激光波长的193纳米，主要在光刻工艺中用于制造更精细的半导体器件。
DUV和EUV光刻机的区别在哪？--科普知识 - CAS
2021年12月21日 · DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm，但最先进DUV的光源波只有193nm，较长的波长使DUV无法实现更高的分辨率，因此DUV只能用于制 …
Extreme ultraviolet - Wikipedia
Extreme ultraviolet radiation (EUV or XUV) or high-energy ultraviolet radiation is electromagnetic radiation in the part of the electromagnetic spectrum spanning wavelengths shorter than the …
极紫外辐射 - 维基百科，自由的百科全书
极紫外辐射 （英語： Extreme ultraviolet radiation）又称 极紫外光 或 高能紫外线辐射，簡稱 EUV 、 XUV，是 波长 在124 nm 到10nm之间的 电磁辐射，对应 光子 能量为10 eV 到124eV。 自 …
euv和duv区别，一文看懂光刻机 - 百家号
2024年11月28日 · EUV光刻技术，全称Extreme Ultraviolet Lithography，即极紫外光刻，它使用的光源波长为13.5纳米，位于紫外光谱的极端部分。 这种极短的波长使得EUV能够刻画出极其 …
EUV和DUV到底有啥区别 - 知乎 - 知乎专栏
2021年3月4日 · EUV也就是“极深紫外线”的意思，而DUV是“深紫外线”的意思，通过字面就知道EUV看上去就比DUV高级，实际上也是如此。 一般来讲，DUV基本上只能做到25nm，Intel凭 …
什么事euv， uv, duv, uv, x uv？ _百度教育 - Baidu Education
而duv (深紫外光) 和 xuv (x射线紫外光) 的波长则更为稀有： DUV (248纳米至193纳米) ，如ArF激光波长的193纳米，主要在光刻工艺中用于制造更精细的半导体器件。
euv和duv区别？一文读懂半导体制造领域的双雄对比
2025年1月1日 · 其中，极紫外光刻（euv）和深紫外光刻（duv）是两种至关重要的光刻技术。 它们各自的工作原理、分辨率、设备复杂度和成本，以及量产能力和效率，都决定了它们在半导 …