2024年2月23日 · 设备前端模块 (Equipment Front End Module)指在高洁净环境下，将单片晶圆通过精密机械手传输至工艺、检测模块的晶圆前端传输系统。 EFEM从属于半导体生产设备，其中晶圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）、晶圆对准器（Aligner）是最核心的三大部件。 在产品方面，EFEM半导体设备前置模块是最大的细分，市场份额超过75%。 在应用方面，应用最多的是300mm的晶圆，市场占有率超过95%，其次是200mm的晶圆。 使用EFEM，通过 …

2009年2月18日 · 그래서 EFEM은 상단에 FFU(Fan Filter Unit)가 설치되어 있어 공정 진행 공간을 청정 상태로 유지하며 외부 오염원으로부터 격리시켜 준다. 또한 청정 상태 유지를 위해 내부 압력이 외부 압력보다 조금 더 높게 유지되어 있다.

EFEM Software是以Windows为基础的Platform，其环境是C#和C++。 自主开发的EFEM Software安装于EFEM内并进行运行。 支持使用于设备驱动的TMC和让用户容易使用的GUI。 （不必要GUI，只有TMC就可以驱动设备。 u000bControl方式可分为处理Job和Schedule的‘Communication Control Type’以及从Process设备下达命令而驱动的‘EFEM Main Control Type’。

The following section details some of the many ways that we report the status of both the FFU itself, and the EFEM/Clean Zone/Mini-Environment. Please keep in mind that this is just a short list of the typical ways we report the status, and we are happy to work directly with you to meet your needs if you find they are different than what is ...

模块设备配备有大气晶圆搬运机器人，安装在框架中，框架配备有 FFU（风扇过滤器单元）和安装在前面的装载端口。 EFEM主要安装在工艺设备的前面。 Module equipment with an atmospheric transfer wafer robot installed in a frame equipped with an FFU (Fan Filter Unit) and a load port attached to the front. Installed in front of the process equipment. 以上内容参考日本半导体设备协会对EFEM的定义。

EFEM（设备前端模块） 模块设备配备有大气晶圆搬运机器人，安装在框架中，框架配备有 FFU（风扇过滤器单元）和安装在前面的装载端口。 EFEM主要安装在工…

2024年7月29日 · EFEM (Equipment Front End Module 同時也叫 Factory Interface(FI) ， 設備前端模組 、 晶圓移載模組)是自動化系統運算晶圓 (Wafer)進製程腔體、量測模組、測試模組等生產機台的傳送介面 ， 因此 可說是晶圓到機台生產的必經之地。

2023年7月24日 · 风机过滤器单元(FFU) 是晶圆传输设备洁净室内部空气净化的关键设备，是一种自带动力、具有过滤功效、模块化的末端送风装置，主要用于洁净室的吊顶或洁净区域的上方或侧面，搭配或内置高效/超高效过滤器，提供稳定的洁净气流，风机从FFU顶部把空气吸入并 ...

EFEM(Equipment Front End Module)主要用于实现半导体设备晶圆的自动供给和卸载。 核心部件主要包括晶圆装载装置（Loadport）、晶圆运输机械手（Robot）、晶圆预对准机构（Aligner）和空气过滤器（FFU）。

The mini-environment (EFEM ) FFU fills the space with unidirectional ULPA filtered while controlling the exit of the air such that a differential pressure is established. The differential pressure is regulated to not less than 0.005” WG (1.25PA) …