2024年11月21日 · EFEM（Equipment Front-End Module，设备前端模块）是半导体制造中用于自动化传输晶圆的关键设备。 本文介绍了 EFEM 的完整开发流程，包括从需求分析到验证部署 …

EFEM设备能够与各种半导体工艺设备（刻蚀，PVD，CVD，清洗设备等）实现无缝连接，保证晶圆在洁净环境下的自动化传输和对晶圆的高效管理。 EFEM设备内部带有多重互锁保护，保障 …

EFEM（Equipment Front End Module） EFElM 包含多达 4 个装载端口、2 个大气机器人、2 个缓冲单元、2 个晶圆居中和抓取对准单元以及 2 个风扇过滤器单元，以保持 EFEM 内部的清洁度。

efem，即半导体设备前端模块，扮演着连接物料搬运系统与硅片处理系统的关键角色。 它确保晶圆在高度洁净的环境下，能够顺畅地传输至工艺和检测模块，因而成为半导体设备不可或缺的 …

efem是一个晶圆前端传输设备，面向半导体生产制程中为各类制程设备做晶圆上 下料配套的前端工艺设备。 产品特点 根据产能与工艺要求，选择不同 Port 数量框架，以及不同设备之间的连 …

2019年9月24日 · 本发明的efem系统通过利用非活性气体置换efem的内部空间的气氛，将上述内部空间的氧浓度和湿度维持为目标值以下，其特征在于，上述efem系统包括：非活性气体供给 …

2024年2月23日 · 使用EFEM，通过设备内部的微环境可以保证倒片过程的洁净要求，实现Wafer的下线、制程前分批、制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序。

Less than 100ppm with low N 2 Gas Consumption (150LPM) by N 2 Gas Circulation System. 2 Fine Differential Pressure Automatic Control. 10 Pa Gauge +/- 3.5. 3 Equivalent Footprint as …

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Disclosed are methods and apparatuses for recirculating gas in an equipment front end module (“EFEM”), including the ability to provide a gas during recirculation and control the gas flow,...