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前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)。 这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭，是一种专属于12吋(300mm ...

前开式晶圆传送盒（英语： FOUP, Front Opening Unified Pod ），是半导体制程中被用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。

FOUP (an acronym for Front Opening Unified Pod [1] or Front Opening Universal Pod [2]) is a specialized plastic carrier designed to hold silicon wafers securely and safely in a controlled environment, and to allow the wafers to be transferred between machines for processing or …

2023年8月17日 · FOUP which is the acronym for Front Opening Unified Pod or Front Opening Universal Pod is a special tool used to handle semiconductor silicon wafers. These are plastic chamber-like boxes or enclosures that are used as a transport medium to move around semiconductor wafers during the manufacturing process.

2021年6月7日 · Front opening unified pod platform with superior microenvironment control that provides clean and secure 300 mm wafer transport. Interested in Spectra™ FOUPs?

前開式晶圓傳送盒 （英語： FOUP, Front Opening Unified Pod），是 半導體製程 中被用來保護、運送、並儲存 晶圓 的一種 容器。 其內部通常可以容納25片的300毫米（12英寸）的晶圓，其主要的組成元件是一個能容納25片晶圓的前開式容器並有一個前開式的門框專司容器的開閉，是一種專屬於12吋 晶圓廠 內的自動化傳送系統重要的傳載容器。 其最重要的功能是在每一台生產機台之間的傳送途中，保護每25片的晶圓避免受到外部環境中的微塵汙染，進而影響到 良率。

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2024年7月12日 · FOUP的唯一标识，机台和天车等设备通过此电子标签识别FOUP。 FOUP的底座有四个识别定位孔，这个定位孔是为了与机台匹配，区分不同污染等级的制程区域所使用。 FOUP的种类：PRD，ENG，MON； PRD（Production FOUP）:专用于产品的FOUP。 ENG（Engineer FOUP）：专用于工程片的FOUP，例如给研发部门或实验产品所使用。 MON（Monitor FOUP）：专用于NPW的FOUP，例如给CMP、DIFF、ETCH、IMP、LITHO …

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