经纯化后的大宗气体由气体纯化间送至辅助生产层（SubFAB）或生产车间（FAB）的架空地板下，在这里形成配管网络，再由二次配管系统（Hook-up）送至各用户点。

Special gas 指的是特种气体，有些特定的工序，需要高纯度或具有特定化学性质的气体，这些气体不是通用普适的，具有特殊性。比如在DUV光刻机中用到的F2，Kr等；在等离子刻蚀中用到的NF3气体等。

2021年4月28日 · 气柜（Gas Cabinets) 定义：为特气源（毒性、易燃性、易反应、腐蚀性气体）提供压力控制和流量监控，并且具备更换气瓶的能力。 位置：位于 Sub-fab 楼层或最底层

2013年7月17日 · HOOKUP是将厂务提供的UTILITIES (如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点 (PORTORSTICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备 (SUBUNITS)。 机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物 (如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。 HOOKUP项目主要包 …

2019年10月4日 · 半导体工厂Fab使用到的Gas主要分为2类： 大宗气体系统和特种气体系统. 大宗气体系统（Bulk Gas）： 使用量较大的几种气体，有氮气（N2）、氧气（O2）、氢气（H2）、氩气（AR）、氦气（He）、压缩空气（CDA）。 一、大宗气体系统概述. Bulk Gas System主要由供气系统和管道系统组成，其中的供气系统包含气源、纯化、品质监测等几部分，一般气源设置在独立于生产厂房之外的气站（Gas Yard），而气体的纯化一般设置在生产厂房内专门的纯化 …

2019年8月2日 · 特种气体从气瓶GC（Gas Cylinder）出发先经过各种阀、配件以及压力调节器（Pressure Gegulator）等，由特殊气体输送管道供应到位于厂房二楼Sub-Fab的多个阀分配柜VMB（Valve Manifold Box）中。

2023年8月18日 · 一旦发生气体泄漏，在无警示状况下，可能对现场人员的安全造成极大的威胁，因此气体监控系统(Gas Monitoring System) 在半导体、太阳能电池板、液晶面板制造工厂中担任极重要之角色，能实时显示异常气体泄漏警报，并提供监控人员进一步的处置，是生命安全 ...

半导体工厂(FAB)大宗气体系统的设计(精)-gas），用量较小的称为特种气体（Specialtygas）。 大宗气体有：氮气、氧气、氢气、氩气和氦气。 其中氮气在整个工厂中用量最大，依据不同的质量需求，又分为普通氮气和工艺氮气。

一旦发生气体泄漏，在无警示状况下，可能对现场人员的安全造成极大的威胁，因此 气体监控系统 (Gas Monitoring System) 在半导体、太阳能电池板、液晶面板制造工厂中担任极重要之角色，能实时显示异常气体泄漏警报，并提供监控人员进一步的处置，是生命安全 ...

2013年2月12日 · 集成电路芯片厂中所使用的气体按用量的大小可分为二种,用量较大的称为大宗气体(Bulk gas),用量较小的称为特种气体(Specialty gas).大宗气体有氮气,氧气,氢气,氩气和氦气.其中氮气在整个工厂中用量最大,依据不同的质量需求,又分为普通氮气和工艺氮气.由于篇幅所 ...