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集成电路HKMG工艺简介(Gate First/Gate Last) - 知乎专栏
2024年4月13日 · 所谓HKMG分为HK和MG两部分,HK指的是栅氧化物用 高介电常数材料 (High-K材料,常用HfO2)替代传统的SiO2或SiON,在不改变等效氧化层厚度(EOT)的情况下,增加物理厚度,改善量子隧穿效应,需要注意的是HfO2与Si直接接触会存在一些问题,因此与硅衬底间仍需要一层IL(Interface Layer)结构作为过渡层; 先栅工艺 (Gate First)中与硅栅间需要金属结构作为过渡层, 后栅工艺 (Gate Last)中则直接使用 金属栅,相关结构示意图见下文。 MG …
HKGMG榴弹机枪 - 百度百科
HK GMG(德文:Granat—Maschinen—Waffe,简称HK GMW;英文:Grenade Machine Gun,简称HK GMG;意为:榴弹机枪)是一台由黑克勒-科赫为 德国联邦国防军 设计的40 毫米全自动型榴弹发射器,发射40 x 53 毫米榴弹。 HK GMG射速为每分钟大约340 发,以32 发 弹链 供弹,由于可以在两边装填,因此两边也可以自由操作,适合 左撇子 或右撇子。 枪机为后座作用操作,击针装有保险装置以防止走火。 快慢机装置于机匣的后方,可以轻易地在半自动射击和 …
集成电路制造工艺——HKMG - 知乎 - 知乎专栏
2021年11月6日 · HKMG此技术的定义简单的可以如下文表述,利用 HK介质材料代替SiON 和利用 金属栅取代多晶硅栅 的技术称为HKMG工艺技术。 这里有两个点:1)采用High k介质材料代替SiON;2)利用金属栅取代多晶硅栅。 按照咱们的正常逻辑,我们在介绍HKMG的时候,首先要了解什么是HKMG,以及为什么使用HKMG技术的原因。 为什么要使用HKMG呢? 主要是在进入45nm以后技术节点,集成电路制造工艺所遇到的挑战。 一直以来集成电路行业一直在追 …
HKGMG自动榴弹发射器 - 百度百科
HK GMG 40mm自动 榴弹发射器 是德国HK公司历经8年研制成功的 一种轻便型自动榴弹发射器,因结构简单、操作性良好而受到青睐。 HK GMG自动榴弹发射器. 1997年,HK公司展示了被称为GMG的自动榴弹发射器的测试影片,试验地点为美国亚利桑那州沙漠地区,包括日间和夜晚,以显示这具武器系统能在任何时间任何地点正常使用,当时被称为“HK武器系统” (HK Weapon System)。 GMG是德语“Granat Maschinengewehr”的缩写,而英文则可翻译为“Grenade …
德国工艺的精品――HK GMG榴弹机枪 - 哔哩哔哩
HKGMG是一台由黑克勒-科赫为德国联邦国防军设计的40毫米全自动型榴弹发射器(德文全称:Granat—Maschinen—Waffe,简称:HKGMW。 英文全称:GrenadeMachineGun,简称:HKGMG(意为:榴弹机枪))
GMG 自动 榴弹发射器 - 枪炮世界
GMG 是德语“ Granat Maschinengewehr ”的缩写,而英文则可翻译为“ Grenade Machine Gun ”,总之都是“ 榴弹机枪 ” 的意思。 GMG发射的榴弹并非普遍的4 0x46 mm,而是40 x 53 mm,虽然长度只是多出7mm,但初速却可以达到240m/s,而其他如M203之类所发射的4 0x46 mm榴弹的初速只有70m/s。 所以普通榴弹发射器的直射距离只有100米左右,而GMG的直射距离可达1,500m。 GMG的体积比Mk19略大. GMG的供弹方向可以从左右两边任选方向. 调整三脚架的 …
HKMG(High-K 栅氧化物层 +Metal Gate)技术 - 知乎 - 知乎专栏
高K介质于 2007年开始进入商品制造,首先就是 Intel 45 nm工艺采用的基于铪 (hafnium)的材料。 氧化铪 (Hafilium oxide, 即HfO2 )的k=20 。 有效氧化物厚度(EOT)由下式给出: EOT=3.9*Tox这里:EOT为有效氧化物厚度,Tox为氧化层厚度,K为材料的介电常数。 氧化铪的k=20 ,比SiO2高6倍,这意味着6nm厚的HfO2提供相当于1nm SiO2的EOT。 在多晶硅和栅介质的界面上会形成一层耗尽层。 这相当于加大了 TOX, 因而对性能而言是不希望有的。
HKMG工艺为什么要用金属栅极?_high-k metal gate-CSDN博客
2025年3月16日 · HKMG(High-K Metal Gate ),是45nm,32nm,22nm及以下节点多采用的工艺,它使用高k材料做栅介质层,用金属材料(如铪,钛,钽)来取代传统的多晶硅栅极。 关于HKMG工艺,可以见之前的文章: 为什么要用高k材料做栅介质层材料? HKMG工艺优点? 1, 高K材料增加了栅极介质的等效氧化物厚度(EOT),从而显著降低了漏电流。 2,晶体管尺寸可以进一步缩小,同时具有高性能和低功耗的优势。 为什么要用金属栅极而不是多晶硅栅极? 1, …
高k金属栅(HKMG)工艺详解 - 电子发烧友网
2024年1月19日 · 选用高k材料(High-k material)代替SiON作为栅介质层,可以在相同等效栅氧化层厚度的情况下,得到物理厚度更大的栅介质层,从而改善栅极漏电流。 图2.材料禁带宽度与介电常数. 长期以来,研究人员在高k材料领域进行了大量的基础研究,发现了很多高k材料。 例如从早期的Si3N4,Al2O3到后期的Ta2O5、 Ti O2、La2O3和HfO2等。 但是这些高k材料都不能很好地与目前的工艺兼容,它们只能满足工艺的某一方面的特定要求。 Si3N4与Si的晶格匹配得很 …
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