
从理论到实践,一文搞懂X射线反射率 (XRR) - Westlake
2023年12月11日 · X射线反射率(X-ray reflectivity,XRR)是一种分析薄膜厚度、粗糙度、密度的表面分析方法。 XRR的基本原理是利用X射线在薄膜表面及界面的反射及折射光的相互干涉,它和我们了解的XRD的衍射原理无关,因此XRR不止可以分析结晶薄膜,也可以分析无定形薄膜。
应用分享 | X射线反射率 (X-ray reflectivity, XRR) - 知乎
XRR是一种方便、快速的分析单层或多层薄膜和表面的方法,是一种纳米尺度上的分析方法,同时可实现无损分析。 例如,通过 原子层沉积 (ALD)技术沉积的薄膜可以用XRR表征薄膜的厚度、密度和界面的粗糙度,同样也适用于其他方法制备的薄膜,如通过 分子层沉积 (MLD)沉积的有机/无机超晶格。 与 光学椭偏法 不同,该方法不需要预先了解薄膜的光学性质,也不需要假设薄膜的光学性质。 然而,XRR不能提供有关材料晶体结构的信息,并且多层膜只能在有限的深度内表 …
X射线反射率 (X-ray reflectivity, XRR)介绍及应用案例分享
2023年10月27日 · XRR是一种方便、快速的分析单层或多层薄膜和表面的方法,是一种纳米尺度上的分析方法,同时可实现无损分析。 例如,通过原子层沉积(ALD)技术沉积的薄膜可以用XRR表征薄膜的厚度、密度和界面的粗糙度,同样也适用于其他方法制备的薄膜,如通过分子层沉积(MLD)沉积的有机/无机超晶格。 与光学椭偏法不同,该方法不需要预先了解薄膜的光学性质,也不需要假设薄膜的光学性质。 然而,XRR不能提供有关材料晶体结构的信息,并且多层膜只能 …
X射线反射率测试薄膜厚度 - 知乎 - 知乎专栏
2023年10月20日 · X射线反射率测试(XRR)是利用X射线在物质的表面和界面中发生的折射和反射,以及反射线之前的相互干涉所形成的干涉条纹对薄膜的性质进行研究的一种方法,可用于测量薄膜的密度、厚度、粗糙度等信息。 在测试时X射线以很小角度入射到样品表面,并以对称耦合模式和测量,即测试时入射角与反射角同步等步长增加,所以XRR一般也称为GIXRR(Grazing Incidence X-ray Reflection)。 本文简单介绍GIXRR基本原理和在高分子薄膜表征中的一些初步应用。 二 …
反射率测XRR简介.pptx 44页 - 原创力文档
2018年11月2日 · 反射率测XRR简介.pptx,薄膜材料的X射线反射率测量介绍;2;3;可获得的样品信息;;20.12.2011;7;反射率和粗糙度的关系;9;10;粗糙度降低了反射光线的强度 XRR 对粗糙度是非常敏感的 粗糙度造成X-射线的漫散射 样品的界面和表面粗糙度要不大于3-5 nm.;反射率和膜层厚度的关 …
XRR检测技术的原理、特点、制样要求及应用_康派斯检测集团官网 …
2024年7月24日 · XRR(X射线反射)英文X-ravreflectivity是一种非破坏性的表面和界面分析技术,广泛应用于薄膜和多层结构的物理特性研究。 本文主要介绍XRR检测技术的原理、XRR检测技术的特点、XRR检测的制样要求,XRR检测的应用。
反射率测量XRR简介ppt课件 - 百度文库
反射率测量(xrr)是利用x射线在物质中发生的折射和反射(表 面,界面),以及反射线之间的互相干涉对薄膜的性质(密度,厚 度,粗糙度)进行研究的一种方法
X射线反射率测试 - 知乎 - 知乎专栏
2024年2月25日 · X射线反射率测试 又称 XRR (X- Ray Reflectivity)是一种方便、快速的分析单层或多层薄膜和表面的方法,是一种纳米尺度上的分析方法,同时可实现无损分析。
X射线反射率(XRR) 欧陆科技集团
X射线反射率(XRR)是一种与X射线衍射(XRD)相关的技术,正成为一种广泛使用的工具。 描述 薄膜和多层结构. 以非常小的衍射角进行 X 射线散射可以表征低至几十 Ǻ 厚的薄膜的电子密度分布。 使用反射率模式的模拟,高度精确地测量晶体或非晶态的厚度、界面粗糙度和层密度 薄膜 并且可以获得多层。 与光学椭偏仪不同,不需要有关薄膜光学特性的先验知识或假设. 为了确定厚度,表面和界面的粗糙度必须小于〜5 nm。 表面粗糙度和密度仍可在较粗糙的样品上确 定. 检 …
X-ray reflectivity - Wikipedia
X-ray reflectivity (sometimes known as X-ray specular reflectivity, X-ray reflectometry, or XRR) is a surface-sensitive analytical technique used in chemistry, physics, and materials science to characterize surfaces, thin films and multilayers.