InSight AFP is the world’s highest performance and industry preferred CMP profiling and etch depth metrology system for advanced technology nodes. The combination of its modern tip scanner with inherently stable capacitive gauges and an accurate air-bearing positioning system enables non-destructive, direct measurements in the active area of ...

2024年12月2日 · InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。 100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。 该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统*兼容。 3D模具映射和HyperMap™. 分析速度高达36000µm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征 …

Insight CAPはCMPやEtchプロセス評価用の全自動AFMです。最長100mmまでのプロファイリング機能に加え、AFMならではのラフネス測定、通常のAFMでは困難だった65nm以下の狭い線幅での正確な深さ測定にも対応可能です。また、100mm, 150mm, 200mm, 300mmウェハに対応し ...

InSight AFP is the world’s highest performance and industry preferred CMP profiling and etch depth metrology system for advanced technology nodes. The combination of its modern tip scanner with inherently stable capacitive gauges and an accurate air-bearing positioning system enables non-destructive, direct measurements in the active area of ...

InSight AFP是行业领先的超高性能CMP分析和蚀刻深度量测系统，主要用于先进技术节点。 InSight AFP配备了稳定的电容式扫描头和精确的空气轴承定位系统，使其可以在芯片的任意有效区域轻松进行非破坏性测量。

InSight AFP是世上性能*高的技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。 将其现代扫描仪与固有的稳定电容式压力计和空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。

InSight AFP提供高通量（最高可达340站点/小时）和高速度（高达36000微米/秒）的3D特征测量，并具备TrueSense技术，确保长寿命和高分辨率。 此外，它还支持自动缺陷审查、分类和3D模具映射，兼容多种YMS系统，提供全面的晶圆和掩模检测解决方案。 bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP. ——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射. InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。 将其现代尖- …

布鲁克Bruker InSight AFP 半导体计量仪是世界上最高的性能和腐蚀深度计量系统先进技术节点。 系统结合了原子力显微镜的最新创新,包括力量的专有PeakForce技术、原子力分析器的证明长扫描功能。

InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。 100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。 该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。 3D模具映射和HyperMap™. 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检 …

InSight AFP is the world’s highest performance and industry preferred CMP profiling and etch depth metrology system for advanced technology nodes. The combination of its modern tip scanner with inherently stable capacitive gauges and an accurate air-bearing positioning system enables non-destructive, direct measurements in the active area of ...