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JYK-HZ2型霍尔离子源阳极直径φ6.2cm，采用永久磁铁并利用极靴，沿轴向产生较大梯度的磁场，在环状的霍尔电流作用下，离子沿轴向加速拔出形成离子束。

使用本电源能明显减少工件打火，通过调节脉冲频率及占空比可改善和控制成膜速度和温度，增加膜基结合力，提高沉积速率。 主要参数 工作电压可分A、B两档，每一档内的电压连续可调，脉冲上升、下降快，脉冲幅值稳定;… 出为单极脉冲，具有脉冲幅值稳压功能。 使用本电源能明显减少工件打火，通过调节脉冲频率及占空比可改善和控制成膜速度和温度，增加膜基结合力，提高沉积速率。 ★ 输入电压及频率范围宽，输入抗强干扰设计，输出纯正弦波，失真度低，稳定性优 …

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