Teron™ 6xx Reticle Defect Inspection Systems for Mask Shop Applications The Teron™ 640e reticle inspection product line advances the development and qualification of leading-edge EUV and 193nm patterned reticles in mask shops by detecting critical pattern and particle defects.

The Zeta™-6xx Series panel metrology system addresses 3D an d 2D metrology requirements for PCB an IC substrate manufacturing. Based on a multi-mode approach to measurements, the Zeta-6xx optical profiler system combines the capability of several tools into one compact platform with performance that has been proven at leading outsourced

Zeta-6xx Series 系统利用 KLA公司在流程控制技术方面的经验,提供高性能测量解决方案。 Zeta-6xx Series 轮廓仪可以测量测试面板和在线产品面板,提供所需数据,以便在开发过程中提供流程反馈并在量产时提供流程控制。 Zeta-6xx Series 系统还可以形成一个集成化的面板检测模块,用于宏观缺陷检测和全面板图像采集。 专有的 3D 测量技术结合了创新光学技术和强大算法,可在各种表面上生成高分辨率 3D 数据。 相位和垂直扫描干涉测量可实现具有高 z 分辨率的广域测量。 集 …

DirectIndustry（工业在线展会）为您提供表面缺陷检测系统产品详细信息。规格型号：Teron™ 6xx series，公司品牌：KLA Corporation。直接联系品牌厂商，查询价格和经销网络。寻找更多国外精选表面缺陷检测系统产品和供应商采购信息，尽在DirectIndustry。

The Teron™ SL670e XP inspection system is used to assess incoming EUV reticle quality and to re-qualify EUV reticles periodically during production use and after reticle cleaning, helping chipmakers protect yield by reducing the risk of printing defective wafers.

Comprehensive multi-year investigation addressed and solved all significant technical risks. Xenon-based source and high-transmission illuminator design provide architectural advantages in cost and CoO. Achieved >5000 hrs collector lifetime at 8-10 W/mm2sr2, and demonstrated >98% Xe gas recovery in closed-loop operation.

2024年5月1日 · 图8-32 的Teron 6xx 系列是针对光罩厂所开发的光罩缺陷检测系统，主要包含 640e、 640、630、610 及TeraScan 500XR 这几款产品。 640e针对最新的 7nm 和Snm 工艺节点，采用芯片与数据库或芯片与芯片的模式，可处理各种堆叠材料及复杂 OPC 结构，可满足缺陷捕 …

Zeta-6xx Series 系統利用 KLA公司在流程控制技術方面的經驗,提供高性能測量解決方案。 Zeta-6xx Series 輪廓儀可以測量測試面板和線上產品面板,提供所需資料,以便在開發過程中提供流程回饋並在量產時提供流程控制。 Zeta-6xx Series 系統還可以形成一個集成化的面板檢測模組,用於宏觀缺陷檢測和全面板圖像採集。 專有的 3D 測量技術結合了創新光學技術和強大演算法,可在各種表面上生成高解析度 3D 資料。 相位和垂直掃描干涉測量可實現具有高 z 解析度的廣域測量。 …

KLA Zeta precision metrology systems that analyze high-roughness, low-reflectance surfaces for Biotech, solar cell, LED, MEMS and other micron-scale measurement applications. Our wide-field optical profilers can measure high-aspect-ratio features from the millimeter to sub-micron range, and film thicknesses down to 30nm.

DirectIndustry（工业在线展会）为您提供光学检测系统产品详细信息。规格型号：Teron™ SL6xx series ，公司品牌：KLA Corporation。直接联系品牌厂商，查询价格和经销网络。寻找更多国外精选光学检测系统产品和供应商采购信息，尽在DirectIndustry。