Defect Inspection & Review | Chip Manufacturing - KLA
Part of a portfolio of advanced wafer defect inspection and review tools, the Puma 9980 provides the highest throughput solution for production ramp monitoring by enhancing capture of defect …
光学检查机 - Puma™ series - KLA Corporation - 带图案晶圆 / 用于 …
作为先进晶圆缺陷缺陷检测与复检设备系列的一部分，Puma 9980通过提升对于图案层(e.g., Multi-patterning)缺陷类型的捕获，为量产提升监控提供了最高产能的解决方案。
德国kla-tencor晶圆缺陷检测器Puma 9980_工业机器_机器/设备_产 …
Puma 9980激光扫描检测系统具有多种灵敏度和速度增强功能，能够捕获大量制造所需的吞吐量（1Xnm**逻辑和**DRAM和3D NAND存储器件）。 作为**晶圆缺陷检测和审查工具组合的一 …
9980 激光扫描检测仪增强了缺陷类型的检测能力，支持先进成图工艺整个生产线前端和后端 在良率提升阶段的的高产能监控。 Puma 9980 的新型 NanoPoint™ 设计可改善缺陷灵敏度，抑
KLA-Tencor为领先的集成电路技术推出晶圆全面检测与检查系列产 …
2016年7月13日 · Puma 9980激光扫描检测仪增强了缺陷类型的检测能力，支持先进成图工艺整个生产线前端和后端在良率提升阶段的的高产能监控。Puma 9980的新型NanoPoint™设计可改 …
KLA-Tencor Introduces Comprehensive Wafer Inspection and …
2016年7月11日 · The Puma 9980's new NanoPoint™ design-aware capability improves defect sensitivity and suppresses systematic nuisance defects, increasing the yield-relevance of …
Optical inspection machine - Puma™ series - KLA Corporation
Part of a portfolio of advanced wafer defect inspection and review tools, the Puma 9980 provides the highest throughput solution for production ramp monitoring by enhancing capture of defect …
KLA-Tencor 新的快速自适应单阈值 (FAST) 算法使工具配方设置显著简化，与之前的算法相比，该算法将 新建和微调程式所需的参数数量减少了近 80%。 KLA-Tencor 的在线缺陷管理工具 …
KLA-Tencor Introduces Comprehensive Wafer Inspection and …
2016年7月11日 · The Puma 9980, CIRCL5 and Surfscan SP5 XP provide early identification of yield excursions across a broad range of line, process and tool monitoring applications, …
KLA-Tencor为领先的集成电路推出晶圆全面检测与检查系列产品
Puma 9980 激光扫描检测仪增强了缺陷类型的检测能力，支持先进成图工艺整个生产线前端和后端在良率提升阶段的的高产能监控。Puma 9980 的新型 NanoPoint™ 设计可改善缺陷灵敏度， …