For 40 years our broadband plasma (BBP) patterned wafer inspectors have been at the forefront of defect discovery for the semiconductor industry. Introduced in 1984, the KLA 2020 was the first automated patterned wafer inspection system for chip production, replacing manual inspection by human operators.

2024年6月25日 · For 40 years our broadband plasma (BBP) patterned wafer inspectors have been at the forefront of defect discovery for the semiconductor industry. Introduced in 1984 and still going strong, BBP inspectors moved defect inspection inline, transforming yield management for chip manufacturing.

2024年5月30日 · Our broadband plasma (BBP) patterned wafer inspection systems are the flagship product in our comprehensive inspection portfolio. BBP inspectors use advanced optical and data processing technologies to discover critical defects on …

40 年来，我们的宽带等离子体（bbp）带图形晶片检测仪不断突破光学检测界限，发现芯片制造过程中的重要缺陷。 kla 2020 于 1984 年推出，是第一个用于芯片生产的自动有图形晶片检测系统，取代了操作员的人工检测。

2024年10月15日 · KLA的BBP检测仪是其检测产品组合中的旗舰产品，它利用先进的光学和数据处理技术，在芯片制造过程中发现关键缺陷。 BBP检测仪支持跨工艺层、器件架构和设计节点的缺陷检测和监控，满足当今多样化芯片类型的生产需求。 四十年来，全球芯片制造厂安装的BBP机台约有3000个，与BBP相关的专利申请约有1000个。 BBP检测设备可检测的最小缺陷尺寸较最初缩小了约125倍，这些数据充分展示了BBP检测系统在半导体制造中的重要性和影响力。 随着半导 …

2024年10月30日 · 在此背景下，KLA的BBP（Broadband Plasma）宽频光学芯片缺陷检测系统迎来问世40周年，成为推动产业进步的重要力量。 BBP技术成为半导体良率提升的关键 ...

2024年10月31日 · 在此背景下，KLA的BBP（Broadband Plasma）宽频光学芯片缺陷检测系统迎来了问世40周年的重要里程碑。 自1984年推出业界首款自动化图像检测系统KLA 2020以来，BBP技术已成为半导体良率提升的关键。

具体来说，我们讨论了使用 KLA 宽带等离子体 （BBP） 光学检测系统检测这些缺陷的重要性，以及有用的分析方法的开发。 此外，我们还描述了在这些光学检测系统上开发的传统聚焦剂量工艺窗口发现方法的使用，用于具有混合 EUV 和直接 EUV 图形方案的代工 N5 等效 M2 层。 我们重点介绍了 EUV 随机指标对整个过程窗口的影响。 随着极紫外 （EUV） 光刻技术进入大批量制造 （HVM） 以实现 7nm 以下的扩展路线图，在晶圆级打印的缺陷的表征和监控对于良率至关重 …

2024年6月6日 · KLA’s unique broadband plasma optical innovations deliver unparalleled inspection performance. The BBP patterned wafer inspection systems leverage these advanced technologies to discover chipmakers’ most critical defects at a throughput that delivers full wafer coverage, making them indispensable for semiconductor manufacturing.

2022年12月9日 · KLA Instruments Webinars. Follow us. KLA Innovation_ Broadband Plasma