eSL10 e-Beam Defect Inspection | Chip Manufacturing - KLA
Explore the breakthrough technologies that deliver the eSL10’s industry-leading e-beam inspection performance. With high beam current operation and other subsystem innovations, …
Metrology Tools and Defect Inspection Instruments and Equipment - KLA
KLA Instruments provide our customers with our deep technical expertise along with a broad portfolio of metrology and defect inspection solutions.
Metrology - KLA
KLA는 Archer™ 오버레이 시스템, ATL™ 오버레이 시스템, SpectraFilm™ 및 Aleris ® 필름 계측 시스템 등을 더욱 보강하는 등 첨단 칩 제조를 위한 광범위한 포트폴리오의 계측 시스템을 …
揭秘顶尖科技前沿_4---KLA半导体设备全览-安徽锐芯智研半导体科 …
2024年9月3日 · CryoTemp晶圆旨在校准、改善均匀性和匹配静电吸附盘 (ESC)上的温度曲线，可实现对等离子体蚀刻腔体的快速工艺表征和控制. 监测并记录晶圆在设备传送路径上的振动和 …
[半导体检测-4]：半导体检测领域的领头羊KLA科磊的Surfscan产品系列介绍_kla …
2024年9月25日 · Surfscan产品系列是KLA科磊针对晶圆表面缺陷检测而开发的一系列高精度、高效率的检测设备。 这些产品采用先进的光学技术、图像处理算法和数据分析技术，能够实现 …
KLA推电子束缺陷检测系统，提高EUV工艺良品率-电子工程专辑
2020年7月20日，kla公司宣布推出esl10™电子束图案化晶圆缺陷检查系统。该系统具有独特的检测能力，能够检测出常规光学或其他电子束检测平台无法捕获的缺陷，从而加速了高性能逻辑 …
科磊KLA——如何称霸半导体检测设备 - 知乎 - 知乎专栏
合并之后，KLA提供高端自动化光学晶圆检测、光掩膜板检测和其他成品率检测工具，而Tencor则更专注于低成本、高吞吐量的成品率监控端和过程诊断分析。
eSL10 电子束缺陷检测 | 芯片制造 - KLA
通过利用业界最广泛的操作范围，eSL10通过在一系列工艺层（包括蚀刻（多晶硅、STI、导通孔、沟槽、阶梯、位线、存储节点等）中发现关键缺陷，支持3D NAND、DRAM和逻辑器件制造 …
[半导体检测-8]：KLA Surfscan 系统设备组成 - CSDN博客
2024年9月28日 · 半导体检测领域的领头羊kla科磊（简称kla）的产品线广泛且深入，覆盖了半导体制造和相关电子行业的多个关键环节。 KLA 的 产品 线主要包括用于检验、测量、数据分析的 …
2万字长文：从KLA看量测设备的护城河 - 虎嗅网
2023年5月10日 · 行业龙头KLA将21~26年的长期复合增长目标设定为9~11%。 为了提升良率和产能，所有芯片制造阶段都需要过程控制，研发和HVM的挑战体现在精确度和速度上。 1）更高 …