2020年12月7日 · Today, KLA Corporation announced our new Surfscan ® SP7 XP wafer defect inspection system. This new member of our Surfscan family of inspectors discovers the smallest defects and imperfections on bare wafers and blanket films, helping semiconductor substrate, equipment, materials and chip manufacturers achieve the strict manufacturing quality ...

Surfscan SP7XP 凭借基于图像的缺陷分类和与 KLA eDR7xxx™ 电子束检查系统的无缝连接，为工程师提供了强大的解决 方案，以便快速查找、识别先进工艺和新材料的关键缺陷并查明根源。

KLA 推出两种全新的系统来解决半导体制造业中最棘手的问题 PWG5™ 专门针对 3D NAND 的制程问题，Surfscan® SP7 XP 则专注解决3nm 逻辑产品的缺 陷。 美国加州，米尔皮塔斯市， 2020. 年12 月10 日：今天，KLA 公司（纳斯达克股票代码：KLAC）宣 布推出两款全新产品： PWG5™

Built on the industry-standard Surfscan® platform, the Surfscan SP7 XP delivers ultimate sensitivity to critical defects and enhanced defect classification for bare wafers, smooth and rough films, and fragile resists and litho stacks, including those used for EUV lithography.

2018年7月10日 · The Surfscan ® SP7 system delivers unprecedented defect detection sensitivity on bare wafers, smooth and rough films—essential for manufacturing silicon substrates intended for the 7nm logic and advanced memory device nodes, and equally critical for earliest detection of process issues during chip manufacturing. Together the two new ...

2024年9月25日 · Surfscan SP7是KLA为满足 更高级别检测需求而推出的先进晶圆缺陷检测系统 。 该系统结合了高精度、高灵敏度和高效率的特点，为半导体制造商提供了强大的工艺控制和良率管理工具。

使用DUV激光器和优化的检查模式，Surfscan SP7XP为先进技术节点研发和生产能力提供了最高的灵敏度，并支持大批量生产。 包括相位对比通道（PCC）和垂直照射（NI）在内的互补检测模式，可以检测裸晶圆、平滑和粗糙膜以及精细的光阻和光刻涂层中独特的缺陷类型。 基于图像的缺陷分类（IBC）利用革命性的机器学习算法，将更快地找出产生问题的根源，Z7™分类引擎支持独特的3D NAND及厚膜等应用。 对于生产用于汽车、物联网、5G、消费电子和工业（军事、航空 …

KLA Surfscan系列设备激光器波长推测. 对于KLA Surfscan SP1、SP3、SP5、SP7等具体型号所使用的激光器波长，虽然无法直接给出确切信息，但可以根据产品升级和技术迭代的一般趋势进行推测： SP1：作为较早的型号，SP1可能主要使用 可见光或较长波长 的UV激光器。然而 ...

2024年10月30日 · KLA-Tencor Surfscan SP7，作为业界领先的精密量测设备，将为我们的研发团队提供无与伦比的精度和效率，为产品迭代新技术突破提供了有力保障。 我们致力于通过尖端科技，推动全球半导体行业进步。

The Surfscan ® SP7 XP unpatterned wafer inspection system identifies defects and surface quality issues that affect the performance and reliability of leading-edge logic and memory devices. It supports IC, OEM, materials and substrate manufacturing by qualifying and monitoring tools, processes and materials, including those used for EUV ...