
中国已形成LPP、LDP、自由电子激光(FEL)三条技术路径的研发 …
2025年3月9日 · 中国已形成lpp、ldp、自由电子激光(fel)三条技术路径的研发格局。 在LDP路线方面,哈工大团队通过优化放电参数,将光源收集效率提升至15%,寿命达1000小时,为国产EUV整机集成奠定基础。
万字浅析国产EUV光刻机的DPP LPP等离子和SSMB稳态微聚束光源 …
2023年10月4日 · lpp方案的基本原理是用强激光脉冲轰击锡液滴,金属锡中的自由电子吸收脉冲能量并转移给 晶格振动 ,从而破坏金属键使得金属锡被打成等离子体,其中含有大量高度电离的、温度达十万摄氏度的锡离子,根据 玻尔兹曼因子 估算,足以使锡离子占据极紫外量级 ...
我国多路并进研制EUV,LPP方案进展喜人!但SSMB即将实用是误 …
2023年9月20日 · 根据这三个原理,目前EUV光源有四种可能的实现模式—— LPP(激光等离子体)、SR(同步辐射)、SRF-FEL(超导加速-高功率自由电子激光器)以及SSMB(稳态微聚束)。 其中SSMB路线属于最新的技术路线,最近在网络上被广大网友热议。 从公开资料来看,这几种技术路线的EUV除了同步辐射路线之外,我国均有团队在快速推进。 一、初代国产EUV效仿ASML采用LPP-EUV技术路线,根据公开资料来看,很可能已经处于调试阶段。 与ASML一 …
2.3 其他光源技术概述 - 知乎 - 知乎专栏
2025年2月15日 · LPP 光源那一节中,Gigaphoton就是用它作为预脉冲进行锡液滴雾化的。此外,还有Ti:Sapphire(掺钛蓝宝石)、Yb:YAG(掺镱钇铝石榴石)、Nd:Glass(掺钕玻璃)等。 具体的激发过程比较复杂,我们从光泵浦(Optical Pumping)讲起。就以Nd:YAG 为例,这是一个典 …
长光所研发出国产EUV光源解决方案:LPP-EUV光源原理样机亮相
2023年10月20日 · LPP-EUV 光源原理样机采用了创新的激光等离子体(Laser-Plasma)产生 EUV 光源的方式,具有结构简单、稳定性高、功率密度大等优点。 长光所研发团队经过多年的努力,突破了 EUV 光源产生、光学传输、高功率激光驱动等一系列关键技术,使国产 EUV 光源技术实现 ...
“LPP-EUV”光源中的高功率CO 2 激光监测与控制系统
2013年6月4日 · 摘要: 为了满足激光诱导等离子体 (LPP)体制下极紫外 (EUV)光源对CO2激光器提出的稳定性需求,建立了简化的CO2激光传输系统模型,根据光束稳定性需求对光束功率、指向和位置的监测与控制方法进行了理论和实验研究。 根据高功率CO2激光传输系统特点,在实验室内建立了上述光束监测和控制实验系统,包括光束功率控制模块、光束指向控制模块和光束参数监测模块,其中光束参数监测模块可实时测量光束功率、指向、尺寸及发散角等重要参数。 仿真与实验 …
14nm LPP/LPC/LPE/LPU 分别是什么意思? - 后端讨论区 - EETOP
2020年4月20日 · 各位大神: 像14nm lpp/lpc/lpe/lpu 分别是什么意思?谢谢! 14nm lpp/lpc/lpe/lpu 分别是什么意思? ,eetop 创芯网论坛 (原名:电子顶级开发网)
LTE时代的定位技术:OTDOA,LPP,SUPL2.0 - CSDN博客
2022年10月19日 · LPP能够全面支持LTE中用到的定位技术(包括ECID、A-GNSS和OTDOA),它还支持A-GNSS+OTDOA的混合定位技术。 基于4个球面确定一个点的原理,手机在定位时需要4个参考点。 在LPP协议的支持下,在卫星可见性较好的地区(如市郊),手机可以通过测量4颗卫星信号进行定位;在卫星可见性较不好的地区(如市中心),手机可以通过测量2颗可见卫星信号及2个LTE基站信号进行定位;而在卫星不可见的室内,手机则通过OTDOA实现定 …
Laplacian Eigenmaps与LPP (Locality Preserving Projections)简介
2017年6月25日 · LPP算法主要是在当高维数据依赖于低维流形在环绕空间(Ambient Space)的嵌入时,找到了对流形进行Laplace Beltrami操作的特征函数的一个最优线性近似。 这样做的好处是,LPP算法拥有诸多非线性技术(例如LE或LLE算法)等的数据表示属性。
LTE时代的定位技术:OTDOA,LPP,SUPL2.0 - 悠悠思恋 - 博客园
2017年4月25日 · 3GPP LTE Release 9规范定义了3种手机定位技术:ECID、A-GNSS和OTDOA.相对来说,OTDOA是一个比较新的技术,它不需要使用GNSS信号,而是利用类似于GNSS的定位原理,通过测量两个或更多的基站参考信号(RS)的到达时间差(RSTD),在已知各基站位置的情况下计算出手机所在位置(图1)。 实际上,在WCDMA中就已经有了OTDOA,但是WCDMA并不是一个同步系统。 各基站之间的时钟误差导致部署OTDOA需要高昂的成本, …
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