6寸、8寸SMIF,12寸Load port介绍 - 知乎 - 知乎专栏
而可支持12寸的具有同样功能的设备叫 LPM （Load Port Module）。 另外支持 E84协议，可对应AGV和 OHT；含 RFID 功能及Smart Tag。 RFID 一般指射频识别技术。 射频识别（RFID） …
什么是Load Port（晶圆装卸机/晶圆载入机）？厦门蚨祺自动化设备有限公司 | 晶圆寻边器/侧边点胶机/Loadport …
2022年3月14日 · Load Port：中文名：晶圆装卸机、晶圆载入机， 是厦门蚨祺自动化设备有限公司自主研发的一套设备系统，被安装在EFEM* 前（设备前端模块：Equipment Front End …
关于晶圆分选机(Sorter)，你需要知道的一切 - 知乎
2023年12月7日 · 晶圆分选机 （Wafer Sorter）是 半导体晶圆厂 中用于晶圆搬运的设备，负责晶圆的中转和分选，确保生产流程的连续性和高效性，保障晶圆厂物料流转需求。 在具体使用 …
HIWIN晶圓裝卸機Load Port HLP系列可共用吋與8 12吋產品載入載出，能直接對應8吋與12吋FOUP/FOSB，亦可 選配8吋open cassette、12吋metal carrier的載具對接平台(Adapter)。 產 …
关于晶圆分选机(Sorter)，你需要知道的一切 - 百家号
2023年10月31日 · 晶圆分选机（Wafer Sorter）是半导体晶圆厂中用于晶圆搬运的设备，负责晶圆的中转和分选，确保生产流程的连续性和高效性，保障晶圆厂物料流转需求。 在具体使用 …
半导体13槽foup和25槽foup的loadport的定义_概述说明_百度文库
半导体13槽foup的loadport是一种用于半导体生产过程中的自动化设备，用于载入和卸载装有半导体晶圆（wafer）的载板（carrier）。 Loadport通常由机械手、传感器和控制系统组成，能够 …
Loadport控制系统设计 - 道客巴巴
2021年8月22日 · 为防止 Foup 内晶圆受到微粒子附 着 ， 需要用到一种专用设备即 Loadport 来装载和卸载 Foup 0 本文通过对 Loadport 的主要功能进行分析 ， 设 计并实现了一种 Loadport …
LOAD PORT-睿新库智能-半导体AMHS解决方案专家 - Ruixinku
LOAD PORT 安装在EFEM前，用来作为wafer进出EFEM的窗口。 封闭式作业环境，在搬运过程中用来保持wafer的洁净度可达Class 1。 与所有手动或符合SEMI要求的FOUP和自动前开式装 …
6寸、8寸SMIF,12寸Load port介绍 - 百度知道
2024年11月16日 · 与此类似的设备，支持12寸设备，被称为LPM（Load Port Module），具备SMIF的同样功能。 设备具备E84协议，能够与AGV（自动导引车）和OHT（无人搬运车）兼 …
Load Port（晶圆装卸机/晶圆载入机）的价格为什么会较高？厦门蚨祺自动化设备有限公司 | 晶圆寻边器/侧边点胶机/Loadport …
2022年3月21日 · Load Port：中文名：晶圆装卸机、晶圆载入机，被安装在EFEM* 前，用来作为wafer进出EFEM的窗口；用于工具自动化的智能且灵活的工厂接口模块； 支持卓越的可靠性 …