Using highly heat-conductive AlN, these heaters deliver outstanding temperature consisency through the uniform sintering of resistance-heating elements and significantly reduce metallic contamination and impurities.

NGK provides comprehensive in-house services ranging from heating device development to design, manufacture, on-site installation, and after-sales services. We supply systems to meet specifications for laboratory to mass production applications.

NGK realize ceramic micro heater with complex shape embedded heater electrode without after-processing and adhesive. It can be developed in various uses which requires selective heating for micro area from small electronic devices to large manufacturing equipment. We can customize the shapes and thermal performance as per cutomer's request.

陶瓷加热器是半导体薄膜沉积等设备中的重要部件，可实现均匀温度分布，对晶圆均匀加热，使衬底表面上进行高精度的反应并生成薄膜。 通常，陶瓷加热器包括上面具有晶圆载放面的陶瓷制陶瓷基体和在背面对其提供支承的圆筒形的支持体，在陶瓷基体的内部或表面，除了设置有用于加热的电阻发热体电路，还设置有RF电极及静电卡盘用电极等导电体。 陶瓷加热器通常采用氮化铝陶瓷，氮化铝具有电绝缘性和优异的导热性，对于需散热的应用而言，它是理想之选；此外，由于 …

NGK AUTOMOTIVE CERAMICS NGK（苏州）环保陶瓷有限公司是由日本碍子株式会社投资，于2001年12月在苏州市高新区成立的。 从2003年10月起，开始了一部分生产线的量产，2005年7月开始了堇青石（Cordierite）的蜂窝陶瓷载体和 堇青石（Cordierite）的DPF的量产并顺利向客户出 …

NGK（苏州）热工技术有限公司是日本碍子株式会社于2001年12月在苏州高新区成立的独资公司，专业研发、设计、制造、安装、调试各种窑炉设备。

NGK锂电池烧成用辊道窑可烧成LCO，LNO，LMO, NMC，LFP，NCA及LTO等材料，并且窑炉可实现多种气氛条件控制，炉材的抗腐蚀性能优越，温度控制能力强。

알루미늄 세라믹을 중심으로 재료가 가지는 특징을 추출, 반도체 제조 장치에 사용되는 정전 척, 히터, 각종 부품을 제품화하고 있습니다.

Drawing on proprietary core ceramic technologies, NGK creates new value to meet the needs of society in the commercial spheres of energy, ecology, and electronics.

熱伝導性に優れた窒化アルミニウム（AlN）を採用し、抵抗発熱体と一体で焼結することにより優れた均熱性を実現するほか、金属汚染不純物も大幅に低減しています。 熱伝導に優れ …