(1) Electrostatic chuck with heater (ESC/Heater) 【Material: AIN (Aluminum nitride)】 We achieve a wide temperature region and sufficient absorption force by controlling AIN volume resistivity. Excellent temperature uniformity facilitated by a highly flexible heater design.

在陶瓷内部配置金属电极，通过进行一体化熔结 ，可以制作静电卡盘（Electrostatic Chucks）和陶瓷加热器。 运用各种材料技术，形成了可以应对客户需求的静电卡盘／陶瓷加热器系列。 在等离子环境领域、电子线使用领域等，从开发、试做阶段，即可提供符合用途要求的产品。 通过控制AIN的体积电阻率，可以获得大范围的温度域和充分的吸附力。 通过自由度高的加热器设计可以实现良好的温度均匀性。 因使AIN和电极完成一体化熔结，没有出现因电极的劣化造成的历时变 …

（1）ヒーター入り静電チャック（ESC／ヒーター） 【材質：AlN（窒化アルミニウム）】 AlNの体積抵抗率をコントロールすることで、幅広い温度域と十分な吸着力を得ることができます。 自由度の高いヒーター設計により優れた温度均一性が実現できます。

NTK Ceratec's excellent material technology enables state-of-the-art Electrostatic Chuck (ESC) suited to each customer's demand. We offer ESCs used in plasma condition, electron beam condition, or low expansion applications from the R&D stage and beyond.

静电卡盘（Electrostatic Chucks，ESC），也称静电吸盘，是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持。

TOTO's electrostatic chucks (ESCs) contribute to state-of-the-art semiconductor manufacturing processes by achieving superior durability and low backside particle contamination because of our proven design and analysis capabilities, high-precision fabrication techniques and an integrated management system that is consistent from raw materials to...

ntk ceratec是国际半导体设备厂关键零组件的知名供应厂。 NTK CERATEC 于 2015 年成为日本特殊陶业株式会社（ Niterra Co., Ltd. ）的全资子公司。 在陶瓷内部配置金属电极，通过进行一体化熔结，可以制作静电卡盘和陶瓷加热器。

Feature of NTK Ceratec's ESC / Heater E{ Designing / Producing with answering the your specification E{ Low particle technologies by our special processing and cleaning

2024年5月17日 · 这是一种由超细颗粒高纯度SiC（碳化硅）制成的静电吸盘，具有高纯度、高导热性、高耐压和高耐用性。 此外，我们已宣布在2021年和2023年扩大静电吸盘产能，预计未来销量将会增加。 3)TOTO. TOTO 是一家总部位于福冈县北九州市的制造商。 尽管我们以马桶和盥洗盆等卫生设备而闻名，但我们实际上正在开发静电吸盘，作为陶瓷业务的一部分。 虽然销售额仅占 TOTO 总销售额的 4%，但营业收入却是 TOTO 的最高收入来源之一，约占总收入的 14%。 利 …

Wafer contact surface is the outer layer of material on electrostatic chuck (e-chuck) that directly contacts backside of wafer substrates in microfabrication process. It plays more and more important role as its material, structure and properties greatly. a ect e-chuck performance and device yield. Key characteristics for high performance.