NSR-S636E ArF immersion scanner - Nikon Precision
The NSR-S636E ArF immersion scanner utilizes an enhanced inline Alignment Station (iAS) that performs sophisticated wafer multipoint measurement before exposure. This innovative system delivers next-level overlay accuracy using high-precision measurement and extensive wafer warpage and distortion correction capabilities, all while maintaining ...
製品紹介 - ニコン 半導体装置事業
半導体露光装置 NSRシリーズ、アライメントステーション、計測・検査装置をご紹介します。
尼康推出浸润式 ArF 光刻机 NSR-S636E，时隔二十多年再发新品
2023年12月7日 · NSR-S636E ArF 光刻机利用增强型 iAS（inline Alignment Station），在曝光前执行复杂的晶圆多点测量。 这一系统利用高精度测量和广泛的晶圆翘曲和失真校正功能，提供了更高的重叠精度，同时保持了最大的吞吐量。 尼康表示，与当前型号相比，NSR-S636E 的生产效率提高了 10-15%。 IT之家从尼康官网参数表获悉，NSR-S636E 光刻机支持 38nm 以下精度，吞吐量可达 280 片晶圆 / 小时。 据日经新闻此前报道，时隔二十多年，尼康将于 2024 年投放光刻 …
缩小投影倍率5倍 i线步进式光刻机NSR-2205iL1 | 尼康精机（上 …
NSR-2205iL1 i线步进式光刻机，可与各种半导体器件配合使用。 该设备性价比优异，对晶圆材质的包容性强，能为各种半导体器件的高效率生产做出贡献。
Nikon Announces Development of the NSR-S636E ArF Immersion …
2021年10月18日 · TOKYO - Nikon Corporation (Nikon) announced it is currently developing the next-generation NSR-S636E ArF immersion scanner, which will deliver superior overlay accuracy and ultra-high throughput to support manufacturing of the most critical semiconductor devices.
NSR-S220D scanner for KrF lithography IC applications. - Nikon …
The Nikon NSR-S220D is the industry-leading KrF scanner for high volume manufacturing. It combines the proven Streamlign platform with continuous technology advancements to satisfy the requirements of the most demanding KrF layers. Enables superior yield …
ArF液浸式扫描光刻机「NSR-S625E」发售 | 尼康精机（上海）有限 …
2023年5月8日 · 株式会社尼康（社长：Toshikazu Umatate，东京都港区）推出了ArF液浸式扫描光刻机NSR-S625E。 由于提高了产量和设备运行的稳定性，NSR-S625E实现了尼康半导体光刻设备历史上最高的生产效率，可为各种半导体器件的高效生产做出贡献。
Nikon Releases the NSR-S636E ArF Immersion Scanner
2023年12月6日 · With the highest productivity of any lithography system across the impressive history of Nikon, the NSR-S636E is an immersion lithography scanner for critical layers that delivers superior overlay accuracy and ultra-high throughput.
ArF液浸スキャナー「NSR-S636E」を発売 | ニュース | Nikon 企業 …
2023年12月6日 · 株式会社ニコン（社長：馬立 稔和、東京都港区）は、ArF液浸スキャナー「NSR-S636E」を発売します。 ニコン史上最高の生産性を誇り、重ね合わせ精度とスループットを高レベルで両立したクリティカルレイヤー向けの露光装置で、最先端半導体デバイスにおける三次元化など、多様化するデバイス構造への課題に対するソリューションを提案します。 DX（デジタルトランスフォーメーション）が加速する中、より大容量のデータをいっそう …
NSR-S322F scanner for dry ArF lithography IC applications.
The NSR-S322F is the industry-leading dry ArF scanner for high volume manufacturing. It combines the proven Streamlign platform with continuous technology advancements to satisfy the requirements of the most demanding non-immersion 193 nm layers.