2019年9月18日 · 什么是 odd cycle？ 在 20nm 以下的工艺中，由于相邻 metal wire 的间距太小，使得光刻过程中，相邻的光线间距过小，相互之间发生干涉，导致 metal wire 边缘模糊，出现瑕疵。

2023年1月28日 · 如果在一个版图上存在着奇数个Shape围成的圈，且相邻的Shape之间的距离小于DPT Spacing（这就意味着它们需要涂上不同的Color），那么就会形成DPT Odd Cycle问题。 这种问题会造成它们无法被合理涂上两种颜色，也就是没办法分到两个Mask上而不引起DRC。

2019年5月26日 · 随着multi-pattern的提出，同时也增加了更多的 route DRC check ，其中最为突出的rule check就是odd-cycle violation。 由于整个mask拆成了mask A与maks B，那么mask之间最小的space rule会有两种情况，一种是不同mask之间min space，另一种是相同mask之间min space，并且不同maks的min space要 ...

2022年3月2日 · 顾名思义， odd cycle 就是指这个“奇数环”。ICC2就是先找出这些“ 最小间距环”，然后检查是否是奇数。如果ICC2 检测到“奇数环”，会自动修掉，但是检测难点在于，这个环可能非常大，如果检测窗口不够大，就检测不到，这时候就需要手动介入修掉了。

2019年9月18日 · DPT将一层mask拆分成两层，但如果在芯片设计中无法将金属线拆分成满足最小间距的两组，就会出现奇数周期（odd cycle）DRC错误。 解决方法是增大金属线之间的间距。

如果在一个版图上存在着奇数个Shape围成的圈，且相邻的Shape之间的距离小于DPT Spacing（这就意味着它们需要涂上不同的Color），那么就会形成DPT Odd Cycle问题。 这种问题会造成它们无法被合理涂上两种颜色，也就是没办法分到两个Mask上而不引起DRC。

2022年11月16日 · 如果在一个版图上存在着奇数个Shape围成的圈，且相邻的Shape之间的距离小于DPT Spacing（这就意味着它们需要涂上不同的Color），那么就会形成DPT Odd Cycle问题。 这种问题会造成它们无法被合理涂上两种颜色，也就是没办法分到两个Mask上而不引起DRC。

The top design in the figure contains two odd cycle violations (flagged by the red rings). The orange warning rings identify even cycles associated with the odd cycles that will become part of a new odd cycle error if a spacing-based fix is attempted …

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As a result of this new approach, new errors are popping up, such as DP violation loops, odd cycle violations and anchor path violations.