2025年1月30日 · PVA TePla is an association of diverse high-tech companies that operate worldwide. Backed by decades of experience and an eye for the innovations of tomorrow, we develop unrivaled systems for vacuum, high-temperature, and plasma processes as well as for quality inspections—always in close cooperation with our customers.

PVA TePla is one of the world’s leading system engineering companies. Its core competencies are in the fields of systems for hard-metal sintering and crystal growing as well as the use of plasma systems for surface activation, functionalization, coating, ultra-fine cleaning and etching.

2025年3月3日 · PVA TePla是一家在全球运营的高科技公司，拥有全球高科技材料设备的行业引领地位。 凭借数十年的技术传承、经验积累，基于对未来材料创新领域的关注和预测，PVA开发了高品质、高性能的真空、高温和等离子工艺系统以及多种检测方式和工艺的质量检测系统。

2025年1月30日 · Die PVA TePla AG ist ein weltweit agierender Verbund vielseitiger Hochtechnologieunternehmen. Mit j ahrzehntelanger Erfahrung und dem Blick für die Innovationen von morgen entwickeln wir konkurrenzlose Anlagen für Vakuum-, Hochtemperatur- und Plasmaprozesse sowie für die Qualitätsinspektion - immer in enger Zusammenarbeit mit unseren Kunden.

PVA TePla AG是一家全球性公司，专注于半导体行业的智能解决方案，晶圆生产和质量检测。 此外，还为氢气生产和可再生能源等基础设施项目提供广泛的系统组合。

PVA TePla—is not just about high-tech products, innovative systems and materials, dynamic processes, experts, and companies. It means fully developed structures, an open corporate culture, and responsible actions.

作爲生產等離子體處理設備的專家，PVA TePla可爲半導體行業提供等離子體清洗設備和服務. 有別於傳統射頻等離子 (物理)清洗方式，微波等離子清洗可清洗樣品的每個部位，實現清洗過程的自由基不會被障礙物所阻擋，並不會改變表面粗糙度。 隨着封裝技術進步，在倒裝和疊晶片等封裝中，射頻等離子清洗並不能達到工藝要求，微波等離子清洗的特點和優勢獲更多用戶選擇PVA TePla。 等離子清洗在倒裝芯片封裝技術已成爲提高產量的必須過程。 先進的倒裝芯片設備在 …

PVA TePla依托丰富的行业经验及深厚的专业技术，深刻洞悉半导体、硬质合金、电气电子、光学、能源、光伏和环境技术等多个高科技行业需求，为其提供全球先进前沿的制造工艺及技术研发支持。

【PVA TePla】批量晶圆处理系统采用模块化设计，其模块化控制系统使用最新一代处理器，基于 Linux 平台作为操作系统，以及图形用户界面 (GUI)。 自动化警报系统与精准化的过程控制，可满足半导体行业苛刻的要求。

Microwave generates higher density plasma (ions/radicles) and a lower induced bias voltage across the substrate compared to rf plasma. Because of this fact, the ashing rate of photo resist in microwave plasma. The GIGAfab series targets SU-8 Removal, MEMS Fabrication, Wafer Bumping and Flat Panel Display Technology. Unique planar source geometry.