PECVD技术是在低气压下，利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上（即样品放置的托盘）产生辉光放电，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。 其工艺原理示意图如图1所示。 图1 PECVD工艺原理. 在反应过程中，反应气体从进气口进入炉腔，逐渐扩散至样品表面，在射频源激发的电场作用下，反应气体分解成电子、离子和活性基团等。 这些分解物发生 …

等离子体增强化学气相沉积（PECVD） 是一种广泛应用于半导体行业的薄膜沉积技术。 它将化学气相沉积 (CVD) 原理与等离子体技术相结合，可生成高质量薄膜并精确控制其特性。 与传统的 CVD 不同，PECVD 利用等离子体来增强沉积过程，从而能够在较低的温度下沉积更多的材料。 本文将全面介绍 PECVD，探讨其原理、应用、优势和局限性。 我们将讨论 PECVD 所涉及的工艺流程、等离子源和关键参数，以及它在半导体制造中的作用和在其他行业中的新兴应用。 …

LPCVD、PECVD 和 ICPCVD 是三种常用的化学气相沉积 (CVD) 技术，每种技术都有其独特的材料沉积方法、设备规格和工艺条件。 这些技术在各行各业都发挥着举足轻重的作用，尤其是在对薄膜沉积进行精确控制至关重要的半导体制造领域。 低压化学气相沉积（LPCVD） 低压化学气相沉积法在减压条件下运行，可增强气体扩散并改善薄膜的均匀性。 这种方法通常采用高温，有利于形成致密、高质量的薄膜。 LPCVD 因能在大型基底上形成均匀的薄膜而备受青睐，是半导体行 …

射频增强等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）是一种在基底上沉积多晶薄膜的复杂技术。 这种方法利用辉光放电等离子体的能量来影响低压化学气相沉积过程，从而提高薄膜形成的质量和效 …

等离子体增强化学气相沉积（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD）技术是一种在沉积腔室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法，其通过等离子体激活作用增强化学气相反应物质活性，提高表面反应速率，并通过高能离子显著降低了薄膜沉积温度。 [1] 在等离子体的作用下，气体在腔室中被解离，形成包含气体分子、高能离子、电子、活性自由基等粒子的强反应物质。 在沉积表面上不仅存在着 …

等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术是借助于 辉光放电 等离子体 使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。 由于 PECVD技术 是通过应气体放电来制备薄膜的，有效地利用了 非平衡等离子体 的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式。 一般说来,采用 PECVD 技术制备 薄膜 材料时，薄膜的生长主要包含以下三个基本过程： 首先，在非平衡等离子体中，电子与反应气体发生初级反应，使得反应气体发生分解，形成离 …

Pelvic venous disorders (PeVD) also known as Pelvic Congestion Syndrome (PCS) affect a great number of women worldwide and often remain undiagnosed. Gynecological symptoms caused by vascular background demand a holistic approach for appropriate diagnosis. This is a relevant cause of chronic pelvic pain and atypical varicose veins.

2023年8月10日 · Pelvic venous disorder (PeVD) is a term that encompasses all the interrelated causes of chronic pelvic pain (CPP) and perineal/lower extremity varicose veins of pelvic venous origin historically known as nutcracker syndrome, pelvic congestion syndrome, and May-Thurner syndrome, resulting in a more precise diagnosis that accounts for the underlyi...

Pelvic venous disorders (PeVD) also known as Pelvic Congestion Syndrome (PCS) affect a great number of women worldwide and often remain undiagnosed. Gynecological symptoms caused by vascular background demand a holistic approach for appropriate diagnosis. This is a relevant cause of chronic pelvic pain and atypical varicose veins.

2024年8月16日 · PECVD（Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition）是一种利用 等离子体 增强化学气相沉积技朝制备具有特定性能的薄膜的过程。 与传统的CVD（Chemical Vapor Deposition）相比，PECVD在沉积薄膜时采用了等离子体激活气体，从而提供了更多的优势和应用领域。 1. PECVD的基本原理. PECVD利用等离子体激活气体分解并活化入射的前驱体气体，使其在衬底表面形成所需的薄膜。 通过施加高频电场或微波等方式，将 气体放电 产生等离子体， …