
评估磷酸盐官能化硅胶 (PFSG) 以从模拟硅化物燃料废料溶解器溶 …
摘要 通过 DEHPA 与改性硅胶反应合成了磷酸盐功能化硅胶 (PFSG)。 PFSG 的特点是扫描电子显微镜 (SEM)、能量色散 X 射线光谱 (EDS)、热重分析 (TGA)、傅里叶变换红外光谱 (FT-IR) 和 X 射线光电子能谱 (XPS) 技术. 使用 PFSG 对铀吸附进行了以下研究:吸附动力学、吸附等温线、进料酸度的影响、其他金属离子对铀吸附的影响、铀从负载的 PFSG 中解吸。 吸附动力学很快;吸附剂剂量为 5 gL-1 时,可在 5 分钟内达到平衡。 吸附动力学遵循拟二级动力学模型。 吸附等温 …
Assesment of phosphate functionalised silica gel (PFSG) for …
2017年10月5日 · Phosphate Functionalized Silica Gel (PFSG) has been synthesized by reaction of DEHPA with modified silica gel.
104|CVD中的PSG,BPSG,FSG分别是什么? - 知乎专栏
PSG:Phosphosilicate Glass,磷酸盐玻璃,是一种硅和磷组成的二元玻璃。 在半导体制程中,PSG通常用作缓冲层或流平层,由于磷的引入,PSG的流动性增强,可以在较低的温度下流平,用来平滑底层。 通常用于半导体器件制造中的金属间层,即沉积在连续较高金属层或导电层之间的绝缘层,因为它具有吸收碱离子的作用。 BPSG:BoroPhosphoSilicate Glass,硼磷硅酸盐玻璃,是由硅、硼、磷组成的三元玻璃。 BPSG相比PSG具有更好的流动性和更低的流动温度,因 …
104|CVD中的PSG,BPSG,FSG分别是什么? - CSDN博客
2023年12月4日 · PSG:Phosphosilicate Glass,磷酸盐玻璃,是一种硅和磷组成的二元玻璃。 在半导体制程中,PSG通常用作缓冲层或流平层,由于磷的引入,PSG的流动性增强,可以在较低的温度下流平,用来平滑底层。 通常用于半导体器件制造中的金属间层,即沉积在连续较高金属层或导电层之间的绝缘层,因为它具有吸收碱离子的作用。 BPSG:BoroPhosphoSilicate Glass,硼磷硅酸盐玻璃,是由硅、硼、磷组成的三元玻璃。 BPSG相比PSG具有更好的流动性和更低的流 …
Assesment of phosphate functionalised silica gel (PFSG) for …
2017年10月5日 · PFSG has been characterized by Scanning Electron Microscopy (SEM), Energy-Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS), Thermo-Gravimetric Analysis (TGA), Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FT-IR) and X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) techniques.
PFSG - Definition by AcronymFinder
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PFSG - What does PFSG stand for? The Free Dictionary
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Assesment of phosphate functionalised silica gel (PFSG) for …
Abstract Phosphate Functionalized Silica Gel (PFSG) has been synthesized by reaction of DEHPA with modified silica gel. PFSG has been characterized by Scanning Electron Microscopy (SEM), Energy-Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS), Thermo-Gravimetric Analysis (TGA), Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FT-IR) and X …
半导体芯片制造中 BPSG 是什么? - 智于博客
2019年6月13日 · 硼磷硅玻璃(boro-phospho-silicate-glass,BPSG):这是一种掺硼的SiO2玻璃。 可采用CVD方法(SiH4+O2+PH3+B2H6,400oC~450oC)来制备。 BPSG与PSG(磷硅玻璃)一样,在高温下的流动性较好,广泛用作为半导体芯片表面平坦性好的层间绝缘膜。 PSG要求的回流温度很高大约1100℃,高温处理容易引起杂质浓度再扩散和硅片变形,以往PSG增加P的含量可以降低回流温度,但是P的含量增加会影响膜的稳定性和可靠性。 因此出现了掺B的BPSG …
PFSG是什么意思? - PFSG的全称 | 在线英文缩略词查询
在下图中,您可以看到PFSG的主要定义。 如果需要,您还可以下载要打印的图像文件,或者您可以通过Facebook,Twitter,Pinterest,Google等与您的朋友分享。 要查看PFSG的所有含义,请向下滚动。 完整的定义列表按字母顺序显示在下表中。 下图显示了PFSG最常用的含义。 您可以将图像文件下载为PNG格式以供离线使用,或通过电子邮件发送给您的朋友。 如果您是非商业网站的网站管理员,请随时在您的网站上发布PFSG定义的图像。 如上所述,您将在下表中看 …