2024年7月10日 · 据麦姆斯咨询报道，近期，由意大利帕维亚大学（University of Pavia）和荷兰代尔夫特理工大学（TU Delft）的研究人员组成的团队在IEEE Access期刊上发表了以“PMUT and CMUT Devices for Biomedical Applications: A Review”为题的综述论文：综述了PMUT和CMUT技术的最新进展，重点介绍 ...

Both CMUT and PMUT are promising new technologies for US medical imaging (1MHz-40MHz) –PMUT better in lower frequency range • Products in < 1MHz range (gesture detection, fingerprint sensor,..)

2023年7月7日 · MEMS 压 电式超声换能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，PMUT）基于压电材料的压电效应和逆压电效应 是可以由单个器件完成声压的测量以及声压信号或声能量输出的超声换能器。

2024年1月30日 · This paper presents a review of the state-of-the-art of PMUT and CMUT technologies, focusing on their principle of operation, microfabrication techniques and use in different biomedical imaging and therapeutic applications.

CMUT属于静电转换型超声传感器，是由一个振动薄膜和一个固定电极组成的 平行板电容器。 其中一块板——振膜（前面提到的微机械薄膜）由硅或氮化硅制成，带有金属电极。 另一块板——通常是微机械加工硅晶片基底，更厚、更坚硬。 在发射模式下，振膜和基底背板之间会产生交变电压。 由此产生的静电力导致薄膜振动，发出超声波。 在接收模式下，超声波会引起膜振动，从而可以检测到电容变化。 当振膜与人体接触时，振动会将超声波送入组织。 产生或检测到多少超声波 …

CMUT technologies are more mature at this moment. The most mature conventional and collapse-mode CMUTs showed the best overall acoustical performance and demonstrated comparable round-trip sensitivity. Collapse-mode CMUTs achieve higher transmit pressure, while the best conventional CMUTs have a higher receive sensitivity.

2024年7月7日 · 本文研究了生物医学应用的下一代电容式微机械超声传感器（CMUT）和压电式微机械超声换能器（PMUT），详细描述了它们各自的优势和局限性。 超声技术因其在推动生物医学研究和创新方面的重要作用而得到广泛认可。 该领域创新的一个关键点是微机电系统（MEMS）集成技术的发展，这为在制造和性能方面超越传统块体型超声换能器的超声技术提供了许多有效的替代方案。 一方面，基于MEMS的超声换能器，例如微机械超声换能器（MUT），受益于 …

微机械超声换能器（MUT）是指采用MEMS技术制作的超声换能器，根据工作原理主要分为两大类：电容式微机械超声换能器（CMUT）和压电式微机械超声换能器（PMUT），PMUT和CMUT在性能和应用方面各有所长、并行发展。 与传统的块体型超声换能器相比，微机械超声换能器具有体积小、成本低、功耗低、频率控制灵活、易于与电路集成和实现智能化等特点。 随着MEMS设计和微加工技术的提升以及产业链的完善，微机械超声换能器成为替代传统超声换能器的很有前途的 …

2025年1月16日 · 微机械超声换能器（MUT）是运用MEMS技术精心打造的设备，它主要包括电容式（CMUT）和压电式（PMUT）两大类，这两类换能器各有千秋。 相较于传统的换能器，MUT不仅体积更为紧凑、成本更低廉，同时功耗也更为节省，频率控制更为灵活，更便于与电路进行集成。 随着科技的不断发展以及产业链的逐步完善，MUT有望逐渐成为传统换能器的替代之选。 与传统换能器相比，MUT不仅体积小巧、成本低廉、功耗节省，更拥有灵活的频率控制能力，与电 …

2024年1月1日 · This paper presents a review of the state-of-the-art of PMUT and CMUT technologies, focusing on their principle of operation, microfabrication techniques and use in different biomedical imaging...