2022年4月4日 · Here we demonstrate a full communication link in a tissue phantom with a fabricated LN pMUT array of 225 elements with an area of just 3 by 3 mm square, showing data-rates up to 800 kbits/s,...

In this article, we proposed a high-order mode pMUT using lithium niobate (LN) thin film. Through optimization of material selection, electrode configuration, the proposed pMUT design shows significant performance improvement in transmission and round-trip sensitivity.

单步工艺主要介绍AlN和PZT两种典型压电材料的生长和图形化工艺，以及几个重要的MEMS单步工艺。 器件工艺则是介绍基于AlN和PZT的PMUT器件的晶圆级制造工艺。 由于是打着PMUT的名旗号，来绍压电材料和工艺，所以本文难免有一些跨学科步子跨大了的内容，包括参考文献内在有很多是和材料相关的。 但也正是因为如此，本文的内容并不仅限于PMUT的材料和工艺，而是适用于大多数压电MEMS器件的材料选型和工艺流程设计。 第N次吐槽知乎的编辑器，无法编辑上 …

Underwater experimental results demonstrate that the LN PMUTs achieve a wide bandwidth of 2.31 MHz (70.1% at −6 dB) and possess a high SNR of 81 dB. Furthermore, the LN PMUTs efficiently detect signals encoded in the 2-amplitude shift keying (2ASK) protocol at a transmission rate of 650 kbit/s at 1.25 m.

Lithium Niobate (LN) Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (pMUTs). The properties of the LN allow to activate multiple flexural mode of vibration with only top...

压电微机械超声换能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，PMUT）在各领域展现出多方面优势，尤其是以小尺寸、高性能、低功耗为代表，PMUT对目前主流的音频器件和超声器件来说，是替代性的下一代技术。 前文“压电微机械超声换能器（上）原理与应用”将PMUT进行了一个拉通式的简介，主要偏应用，大约比科普深一点，比专业浅一点的样子。 本文将进一步解析PMUT的器件结构和系统级设计方法，首先是针对PMUT的单管结构分析，随后重点 …

本文演示了一种基于铌酸锂 (LN) 压电微机械超声换能器 (pMUT) 的高数据速率体内通信链路。 LN 的特性允许仅使用顶部电极激活多种弯曲振动模式。 在人体组织等材料中运行时，这些模式正在合并并形成较大的通信带宽。 如此大的带宽（高达 400 kHz）为 IMD 提供了高数据速率的通信链路。 在这里，我们展示了组织模型中的完整通信链路，该模型具有由 225 个元素组成的 LN pMUT 阵列，面积仅为 3 x 3 平方毫米，

2022年12月29日 · In this paper, recent advances of piezoelectric materials for PMUTs are reviewed first by analyzing the material properties and their suitability for PMUTs. PMUT structures and the associated...

2022年12月8日 · pmut是利用压电薄膜材料和微机电(mems)技术制备的可实现微米量级的超声换能器。 为了解决目前用于PAI的弯曲模式超声换能器(FVM PMUT)带宽不足的问题， 吴涛团队与智能医疗信息研究中心高飞团队合作，实现了基于 PMUT 高阶模式 的光声成像。

2023年7月7日 · MEMS 压 电式超声换能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，PMUT）基于压电材料的压电效应和逆压电效应 是可以由单个器件完成声压的测量以及声压信号或声能量输出的超声换能器。