随着在半导体制造中使用 13.5 nm辐射的 EUV 光刻技术的发展，极紫外辐射（EUV、XUV）已成为一个重要的工业意义。 这导致对高分辨率和灵敏的诊断和测量技术的需求。 因此，我们构建了一个模块化的 XUV / EUV 和软 X 射线光谱仪，可用于等离子体光谱学、源诊断和计量学。 它te别适用于激光等离子体源（LPS）和高次谐波源（高次谐波产生high harmonic generation，HHG）。 该光谱仪设计灵活，适用于多种应用。 对于广泛的几何形状，可以获得非常高的光谱分辨率 …

QCL (quantum cascade laser): tunable IR laser (770 –1900 cm-1) y m m m Dipole-dipole attractive force from nano-sized sample absorption region is detected via AFM cantilever. One vibrational resonance of the cantilever is used to perform standard modes of AFM. Concurrently, a second resonance of the cantilever is used to detect photo-

Saw-tooth current (Ramp wave) injection enables tuning emission wavelength of QCL by the variable feature of DFB laser's emission depending on the operating temperature and injection current level. Also, TDLAS performs high sensitive spectroscopy with lock-in amplifier to detect periodical modulation of lasers.

量子级联激光器 (QCL) 是中红外 (IR) 和太赫兹 (THz) 光谱范围（3 μm 至 300 μm）内很有前景的光源。 特别是，1 THz 至 6 THz 光谱范围对于许多用途非常有吸引力，例如成像、化学/生物传感、外差检测和光谱仪。

100W EUV average power (105W stabilized, 95% duty) with 5% conversion efficiency (CE) for 5hours operation in September 2016 demonstrated. High conversion efficiency realized with several key engineering efforts. CO2 driver laser tests for 27kW started. Next target is >100W average power at high duty cycle with collector mirror.

2018年10月26日 · 结合滨松独特的量子结构设计技术，采用耦合双重上能级结构（AnticrossDAU TM），成功研发可输出宽谱中红外激光QCL。 该小型QCL模块、由新开发的QCL和在MEMS镜上制造的MEMS衍射光栅以及外部谐振腔组成，可扫描给出8到10μm范围内的中红外激光。

SuperTune QCL is a wide spectrum continuous tunable laser customized for infrared spectrum and infrared optical instrument applications. Ultra high stability optomechanical design, combined with unique 3-12μm wide spectrum coverage and wide spectrum tuning capability make it the most cost-effective semiconductor infrared tunable light source ...

滨松光子学株式会社提供适当的组件来执行光外差检波：具有 MIR（中红外）灵敏度和高响应特点的 QCD、高稳定性 QCL 和具有超低噪声特性的 CW 控制器。 两个相干光源（即激光器）如果具有接近但略有不同的波长，就会基于频率差产生相应的节拍信号。 该节拍信号称为光拍或拍音，拍音的频率称为拍频。 拍音灵敏地反映了创造拍音的激光器的强度、相位或频率的变化。 因此，拍音广泛用于各种技术，例如高灵敏度或高波长分辨光谱技术。 请联系我们获取更多信息。

量子级联激光器（Quantum Cascade Laser，QCL）诞生于1994年的美国，是基于半导体耦合量子阱子带（一般为导带）间的电子跃迁所产生的一种单极性光源。 波长范围可覆盖中红外至远红外，输出功率从mW至W量级。

EQ-10是一款紧凑、易用、可靠且性价比高的EUV光源，基于Energetiq使用氙气的无电极Z-Pinch技术。 EQ-10 EUV光源特别适合测量学和研究应用。 EQ-10 EUV光源的模块化设计使之很容易集成到工艺设备中。