残余气体分析仪RGA Residual Gas Analyzer. 作为线上同步制程监测工具，是质谱仪mass spectrometer的一个分支。质谱分析是一种将化学物质转化为气相离子，利用运动离子在电场和磁场中偏转原理，分离不同质荷比（mass-to-charge ratio质量-电荷比）离子的检测分析方法。

法拉第杯检测器是 srs rga 的标准配置，允许从 10-5 至 5 × 10-11 托.为了提高灵敏度和更快的扫描速率，提供了可选的电子倍增器，可检测低至 5 × 10-14 托.

深入了解残余气体分析 (rga) 进行纯度测试 由于分子污染会影响产品的功能，因此随着技术要求的不断提高，快速扩张的市场越来越重视最高水平的清洁度。

MKS produces the 300mm Resist-Torr RGA for the detection of photoresist residues on wafers during the high pressure (~8 Torr) wafer degas step just prior to insertion of the wafer into a 300 mm PVD chamber. The 300 mm Resist-Torr is a fully automated monitor with built-in calibration for the calculation of the PR index that measures the ...

FabGuard FDC combines on-line Fault Detection and Classification (FDC) capabilities with powerful tools for fab engineers to readily analyze virtually any aspect of process and equipment behavior. No other system provides greater capability to guard against wafer loss, reduce unscheduled tool downtime and improve yield.

2002年8月7日 · In this paper, we will discuss the application of a portable Residual Gas Analyzer (RGA) for characterizing and troubleshooting diffusion furnaces and rapid thermal anneal (RTA) reactors in the thermal module at Kilby Fab (KFAB) of Texas Instruments Inc.

残余气体分析仪（rga）划分为rga100、rga200、rga300amu三种型号，其优异的性能和价值是真空分析仪的领先产品。 每一个RGA 系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成，实时分析windows 软件包可以更方便用于数据采集和分析，并可进行远程控制。

本发明实施例提供了一种基于RGA的工艺过程控制方法及工艺过程控制系统，所述系统至少包括机台Tool、残余气体分析仪RGA的传感器RGA SENSOR、RGA的控制器Sensor Controller、工厂主机Fab Host；其中，所述RGA SENSOR安装在所述Tool的指定腔室内，所述Tool通过第一通信接 …

The simple and flexible solution for gas anaysis All in one The new HiCube RGA pumping station offers you a simple, straightforward solution for your gas analysis needs. It is suitable for mobile applications, and offers high resolution and sensitivity.

2011年11月1日 · 本文件旨在为残余气体分析（rga）过程及相关问题提供指导。 该指南描述了如何选择合适的测试实验室，包括RGA历史、测量方法以及测试中出现的问题。