RTD Wafer 无线温度传感器是使用特殊加工工艺将测温传感器（RTD）镶嵌于晶圆表面特定位置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。 通过RTD Wafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况；也可用于持续监控在热处理制程中 ...

RTD Wafer是使用特殊加工工艺 将测温传感器（RTD)镶嵌于晶圆表面特定位置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。 通过RTD Wafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶 圆的温度分布情况；也可用于持续 监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化。

RTD Wafer 晶圆测温系统利用自主研发的核心技术将 RTD 传感器集成到 晶圆表面，实时监控和记录晶圆在制程过程中的温度变化数据，为半导体 制造过程提供一种高效可靠的方式来监测和优化关键的工艺参数。

RTD — Low Temperature / High Accuracy — Max Temp 240°C. The Instrumented Wafer RTDs operate under the principle that the electrical resistance of certain metals increases or decreases in a repeatable and predictable manner with a temperature range.

RTD Wafer温度传感器在热板软烘焙中的应用，为温度控制提供了高精度和可靠性。 通过实时监测和反馈，RTD传感器能够确保软烘焙过程的稳定性，从而提升半导体制造的整体质量和效率。

2024年3月16日 · RTD Wafer晶圆测温系统利用自主研发的核心技术将RTD传感器集成到晶圆表面，实时监控和记录晶圆在制程过程中的温度变化数据，为半导体制造过程提供一种高效可靠的方式来监测和优化关键的工艺参数。

This highly versatile industrial sensor supports 9 miniature, low-mass precision RTD temperature sensors connected to one small, thin high-temperature transmitter. Designed Specifically for Silicon Wafer Processing Applications. High-value ROI: Especially for a wafer sensor that can be maintained and last a long time.

2024年7月23日 · RTD Wafer【 晶圆测温系统 】，依托于我们自主研发的前沿技术，创新性地将RTD传感器融入晶圆表层，从而能够持续、稳定地追踪并记载晶圆在整个制造流程中的温度波动情况。

溫度監控系統WaferBLE是透過藍牙無線通訊技術連接數據採集器TW-DC2301將即時溫度數據傳送至系統中， 能夠立即顯示、即時儲存記錄，並且提供各種數據， 協助用戶端分析統計。 透過數據採集器TW-DC2301即時傳送資料至系統，提供0.01℃的最小讀取值和最小精度 0.01℃。 除了溫度之外，它還可以用於測量電阻和電壓。 TW-DC2301由內置可充電鋰電池供電，可實現 純粹的獨立性能，並封裝在小型外殼中。 II. 溫度監測與分析系統：WaferBLE. ☑ 檢索、報告、分析和可 …