SEMI E62 - Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS) - Member Price : $144.00 Non-Member Price : $187.00

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The SB300 front opening shipping box (FOSB) is an innovative 300 mm shipper that ofers the benefits of manual and front-opening interface mechanical standard (FIMS)-compatible automation handling. The dual-functionality of the door allows users to easily move from manual operation to FIMS.

innovation while ensuring modularity and interchange-ability at all mechanical interfaces. Only the physical. interface is specified; no materials requirements or micro-contamination limits are given. The interface specified in this standard can be fo.

本スタンダードは，プロセス装置または測定装置とフロントオープニング・ボックスとのインタフェースについて装置側の要求事項について規定する。 本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。 物理的インタフェースだけが規定されており，材料に対する要求事項やパーティクルなどの汚染限度は示されていない。 本スタン …

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