2024年8月21日 · Notch 是指在硅片正下方上切出的一个小的凹槽，通常呈现为V形或U形。 Notch有两个作用，一个是用来标记硅片的晶向，如<100>,<110>,<111>等；另一个作用是使硅片在 半导体制造设备 中能够正确定位和对准。

定位边(Flat/Notch)： 硅片圆周上的一个平边(Flat）或V口(Notch)，作为晶向定位的依据；一般不同直径硅片对应不同的Flat长度标准或Notch，定位边分 主定位边(Primary Flat)和副定位边(Secondary Flat)。

硅晶圆片上的notch（“凹槽标记”）是用来标记晶圆方向和晶向的，通常位于晶圆的平边上。 notch是晶圆制造过程中切割晶片时留下的痕迹。 notch的位置和形状不同，取决于晶片的制造者的规范。

2021年4月12日 · 在200mm（含）以上硅锭上，为了减少浪费，只裁剪个圆形小口，叫做Notch（V槽）。 在切片后晶圆就变成了这样： 图9：12寸硅片Notch（V槽）

2024年9月16日 · 晶圆上留下的平边（flat）或凹槽（notch）主要用于帮助在制造和处理过程中确定晶圆的类型、掺杂和晶向等信息。 1. 晶圆的晶向识别. 硅晶圆是由单晶硅锭通过切片制成的，硅晶锭的晶向（晶体结构排列的方向）对于半导体器件的性能和加工工艺非常重要。

2024年12月24日 · 晶圆定位边（wafer flat）和凹槽（notch）是晶圆制造过程中用于确定晶圆方向的重要特征，它们在晶圆的加工、对准和检测中发挥着至关重要的作用。 1. 晶圆定位边（Wafer Flat）

2024年3月7日 · 硅片的notch是一个用于标识晶圆方向的物理切口，通常是V形或U形，位于硅片的边缘底部，位置精确且易于机台读取。 知识星球（星球名：芯片制造 与 封测社区，星球号：63559049）里的学员问：上期种说2，4，6寸硅片都有平边，那为什么8&12寸硅片只有 一 个 …

2024年1月11日 · Silicon wafers, the foundation of integrated circuits and semiconductor devices, come with an intriguing feature - a flattened edge or a tiny notch cut into the side. This small detail actually serves an important purpose for wafer handling and device fabrication.

2024年5月11日 · 硅片的notch是一个用于标识晶圆方向的物理切口，通常是V形或U形，位于硅片的边缘底部，位置精确且易于机台读取。 知识星球（星球名：芯片制造与封测社区，星球号：63559049）里的学员问：上期种说2，4，6 寸 硅片 都有平边，那为什么8&12 寸 硅片 只有一 …

2024年6月28日 · 因此，在200mm以下的硅锭上是切割一个平角，叫做Flat，在200mm（含）以上硅锭上，为了减少浪费，只裁剪个U型或V型小口，叫做Notch。 “111”P-type晶圆缺口. 国标规定Notch 槽 (V 形槽)深度为 1mm 角度为 90°是种具有一定角度和深度的凹型结构,因此无法直接测量 Notch 槽晶向。 可以通过利用X射线测试与其垂直位置的晶向偏离度来表征 Notch 槽的晶向偏离度。 Notch槽结构放大图. 为什么要区分晶向呢？ 首先，硅晶圆晶格结构是立方体，具有四个等 …