半导体常用术语 - 知乎
smiff：即采用了标准机械界面 (standard mechanical interface,简称SMIF)技术的pod，SMIF由三部分组成：用来封闭在制造过程中存储和运输盒装半导体晶片的集装箱，即SMIF晶片盒 (pod)； …
6寸、8寸SMIF,12寸Load port介绍 - 知乎
SMIF (Standard Mechanical Interface)是一种标准机械接口、一种模块化设计、由一系列标准化的模块组成，使用SMIF可以大大减少工艺设备的边角、从而提高生产效率。 而可支持12寸的具 …
SMIF是指半导体里面的什么设备 - 百家号
2023年11月30日 · SMIF由三部分组成：用来封闭在制造过程中存储和运输盒装半导体晶片的集装箱，即 SMIF晶片盒 (pod)；用来打开SMIF晶片盒 (pod)的输入输出装置，即smif装载端口 …
SMIF (interface) - Wikipedia
SMIF (Standard Mechanical Interface) is a wafer carrier used in semiconductor wafer fabrication and cleanroom environments. The isolation technology was developed in the 1980s by a …
晶圆标准机械（界面）接口SMIF隔离技术与大族富创得45年的历史 …
2024年12月31日 · 晶圆隔离技术又称标准机械（界面）接口（Standard Mechanical Interface简称SMIF），技术概念等同于将洁净室直接设置于设备中，可在次等级（ISO等级 6或更高级） …
晶圆标准机械（界面）接口SMIF隔离技术
晶圆隔离技术又称标准机械（界面）接口（Standard Mechanical Interface简称SMIF），技术概念等同于将洁净室直接设置于设备中，可在次等级（ISO等级6或更高级）集成电路制造FAB中 …
晶圆载具晶圆盒/晶舟盒系列-FOUP / FOSB / Wafer SMIF Pod-中 …
晶圆载具晶圆盒/晶舟盒系列-FOUP / FOSB / Wafer SMIF Pod，可保护、运送、並储存晶圆，在运输傳载及储存时提供安全防护。
SMIF - SIASUN
SMIF是一种晶圆装载与检测集成装置，适用于6寸和8寸晶圆盒的自动开关盒，效率高，稳定性好，重复定位精度高，洁净等级为Class1；具有兼容150mm和200mm晶圆的mapping功能，能 …
8吋晶圆（SMIF）专用EFEM、Sorter-上海微松工业自动化有限公司
SMIF Opener 适用于8吋晶圆SMIF料盒的自动开闭，使用传感器检测晶圆的有无，实现高稳定性，高效率,Class1洁净度等級； · 机构检测料盒位置准确后，实现开盖； · 开盒时检测料盒 …
SMIF - 百度文库
晶圆隔离技术又称为标准机械接口（StandardMechanicalInterface,SMIF），国际半导体协会 (SemiconductorEquipmentMaterialInternationalAssociation，SEMI)更将SMIF列为12吋晶圆 …