硬核产品｜光学邻近矫正平台基于规则的辅助图形工具EsseRBAF
这些微小图形被称为 亚分辨率辅助图形 （SRAF ，Sub-resolution Assist Feature）。 “芯天成”基于规则的辅助图形工具 EsseRBAF （RBAF，Rule-based Assist Feature），能够高效的为工 …
Sub-resolution assist feature (SRAF) study for active area …
Sub-resolution assistant feature (SRAF) is applied to enhance the process window of isolated and semi-isolated features by taking advantage of the optical interference between the main …
Subresolution Assist Feature Generation With Supervised Data …
2017年8月31日 · Subresolution assist feature (SRAF) generation is a very important resolution enhancement technique to improve yield in modern semiconductor manufacturing process. …
Abstract—In the lithography process, subresolution assist fea-tures (SRAFs), as an essential resolution enhancement technique (RET), is applied to improve the pattern fidelity and enlarge …
Draft Simulator | FIFA 17 Ultimate Team - WeFUT
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台积电谈逆光刻技术的过去、现在和未来 - 知乎
2022年7月17日 · 随后，OPC 算法将亚分辨率辅助功能 (SRAF) 添加到掩膜码数据中。 这些是与原始设计不同的形状，其尺寸是有意选择的，以便不以晶圆光刻胶分辨率打印，但由于设计形状 …
散射条 - 百度百科
该技术在模型中将亚分辨率辅助图形的尺寸及插入位置设为可变参数，计算出主图形成像结果的图像对数斜率，然后不断调整参数，甚至获取主图形最大的图像对数斜率值 [3]。 散射条是计算 …
国微芯光学邻近矫正平台基于规则的辅助图形工具EsseRBAF
2023年10月26日 · “芯天成”基于规则的辅助图形工具EsseRBAF，能够高效的为工业级全芯片版图开发全面、精确的亚分辨率辅助图形，使芯片制造在光刻工艺中获得更大的工艺窗口、更稳定 …
SRAF的风险预测及优化方法与流程 - X技术网
2023年5月31日 · 本发明涉及一种半导体集成电路制造方法，特别涉及一种亚分辨率曝光辅助图形 (sub-resolution-assistance-feature，sraf)的风险预测及优化方法。 背景技术： 1、随着技术节 …
一种根据规则添加SRAF的方法与流程 - X技术网
2019年8月30日 · 提供一种根据规则添加sraf的方法，包括：获取目标图形，并确定投影区域；目标图形包括多个子目标图形；根据投影区域选择sraf规则，并基于sraf规则在投影区域中添加第 …