亚分辨率辅助图形 Sub-Resolution Assistant Feature，SRAF
与光学邻近效应校正类似，插入亚分辨率辅助图形也分为基于经验规则的辅助图形（rule-based SRAF）和基于计算模型的辅助图形（model-based SRAF）。 插入在稀疏的线条中间的亚分 …
芯天成光学邻近矫正平台-深圳国微芯科技有限公司
芯天成基于规则的辅助图形工具EsseRBAF（RBAF，Rule-based Assist Features），能够高效的为工业级全芯片版图开发全面、精确的亚分辨率辅助图形，使芯片制造在光刻工艺中获得更大 …
硬核产品｜光学邻近矫正平台基于规则的辅助图形工具EsseRBAF
“芯天成”基于规则的辅助图形工具 EsseRBAF （RBAF，Rule-based Assist Feature），能够高效的为工业级全芯片版图开发全面、精确的亚分辨率辅助图形，使 芯片制造 在 光刻工艺 中获得 …
Highly Sensitive Focus Monitoring Technique Based On Illumination …
2016年12月14日 · Further introducing sub-resolution assist features (SRAF) and/or sub-resolution inverse features (SRIF) can successfully yield the design of robust focus metrology targets …
国微芯光学邻近矫正平台基于规则的辅助图形工具EsseRBAF
2023年10月26日 · “芯天成”基于规则的辅助图形工具 EsseRBAF （RBAF，Rule-based Assist Feature），能够高效的为工业级全芯片版图开发全面、精确的亚分辨率辅助图形，使芯片制 …
Sub-resolution assist feature (SRAF) study for active area …
Sub-resolution assistant feature (SRAF) is applied to enhance the process window of isolated and semi-isolated features by taking advantage of the optical interference between the main …
Subresolution Assist Feature Generation With Supervised Data …
2017年8月31日 · Using accurate model-based SRAFs as training data, classification models based on logistic regression (LGR) and support vector machine are calibrated for SRAF …
芯片资料三：基于机器学习的SRAF提高在1X节点及以下的OPC性 …
CTM（Continuous Transmission Mask）技术是一种新的迭代生成参考图的方法，可以提取和放置比传统SRAF引导图（SGM）精度更高的SRAF。 然而，迭代计算会运行时间会很长，使 …
ruleS-based SRAF - 百度百科
基于经验来确定辅助图形的尺寸和放置的位置（placement rules） [1]，这种辅助图形加入的方法称为基于经验的辅助图形，即ruleS-based SRAF。 在90nm节点时，通过建立一些图形插入规则 …
Application of Genetic Algorithm to Solving Better SRAF Rules
In this paper, the genetic algorithm (GA) with improved selection method, which is highly efficient in multi-parameter optimization, is combined with lithography model and Calibre OPCVerify …